[发明专利]装载工位

权利要求书

1.一种基板装载工位，包括：

框架，其形成一种配置成用以保持受控制的环境的腔室，所述框架具有共同的搁架；

传送机器人，其连接到共同的框架；以及

安置于共同的搁架上的一个或多个基板盒保持位置，并且每个配置成用以保持安置于所述共同的搁架上的基板盒保持架，所述一个或多个基板盒保持位置限定所述共同的搁架的可互换基板盒接口，其与彼此同时安置于共同的搁架上的其他不同的可互换基板盒接口可互换，可互换基板盒接口和其他不同的可互换基板盒接口的每个对于所述共同的搁架是共同的，并且配置成用以在可与所述传送机器人连通的基板盒的预定位置可移除地接口连接并支承不同预定尺寸的不同相对应的基板盒保持架，以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中所述一个或多个基板盒保持位置的可互换基板盒接口和其他不同的可互换基板盒接口选择性地安置于所述一个或多个基板盒保持位置，以实现预定尺寸的一个或多个基板盒保持架与不同预定尺寸的其它基板盒保持架的可互换性并且改变所述基板装载工位的基板盒保持容量并且在对于具有基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量的基板盒保持位置而言共同的所述共同的搁架上从第一最大数量到不同的第二最大数量改变由基板盒保持位置能够同时保持的基板盒的最大数量，使得所述共同的搁架的基板盒保持容量具有可互换的基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量。

2.根据权利要求1所述的基板装载工位，其特征在于，所述基板盒保持位置中的每一个安置于所述框架内并且配置成用以保持相应基板盒使得所述基板盒在径向朝向所述传送机器人的中心枢转轴线。

3.根据权利要求1所述的基板装载工位，其特征在于，所述一个或多个基板盒保持架中的每一个配置成用以保持其中具有第一大小基板的基板盒；并且其它基板盒保持架中的每一个配置成用以保持其中具有第二大小基板的基板盒，其中所述第一大小基板具有不同于第二大小基板的大小。

4.根据权利要求1所述的基板装载工位，其特征在于，所述基板装载工位包括基板盒保持位置的一个或多个层次。

5.根据权利要求4所述的基板装载工位，其特征在于，所述一个或多个层次为竖直堆叠的层次。

6.根据权利要求4所述的基板装载工位，其特征在于，所述传送机器人配置成用以接近所述层次中每一个上的所述基板盒保持位置中的每一个。

7.根据权利要求1所述的基板装载工位，其特征在于，所述框架包括与所述基板盒保持位置中每一个对应的一个或多个门，其中所述基板盒保持位置配置成用以根据相应门的位置在装载位置与传送机器人接近位置之间移动。

8.根据权利要求1所述的基板装载工位，其特征在于，所述基板装载工位的大小适于装配于针对于二宽装备前端模块的SEMI标准中所规定的空间维度内。

9.根据权利要求1所述的基板装载工位，其特征在于，每个基板盒配置成用以保持至少一个基板，所述至少一个基板用于发光二极管形成、有机发光二极管形成和液晶显示器形成中的至少一个。