[发明专利]线性马达及线性搬送装置

权利要求书

1.一种线性马达，包括具有动子的滑件、设置在所述滑件的移动路径上的马达主体部、及安装在所述马达主体部上的多个定子，所述多个定子以与所述动子相向的方式沿所述移动路径排列，该线性马达通过在所述定子与所述动子之间产生吸引力来使所述滑件沿所述移动路径移动，其特征在于包括：

多个传感器基板，以相对于各个所述定子而容纳于沿所述移动路径的移动方向上的所述定子的尺寸内的方式被安装；

上游侧位置检测单元，被安装于各个所述传感器基板，在所述移动方向上的所述传感器基板的上游部，检测所述滑件并输出位置检测信号；

下游侧位置检测单元，被安装于各个所述传感器基板，在所述移动方向上的所述传感器基板的下游部，检测所述滑件并输出位置检测信号；

位置检测信号合计部，被安装于所述传感器基板，将来自与所述移动方向上的该传感器基板的上游侧相邻的传感器基板的所述下游侧位置检测单元的所述位置检测信号、和来自与所述移动方向上的该传感器基板的下游侧相邻的传感器基板的所述上游侧位置检测单元的所述位置检测信号相加，并且能够输出由此获得的合计信号；

控制装置，根据来自所述位置检测信号合计部的合计信号，检测所述滑件的相对于安装有该传感器基板的所述定子的位置。

2.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于还包括：

磁性标尺，与所述上游侧位置检测单元及所述下游侧位置检测单元相向；其中，

所述磁性标尺具有多个磁铁，所述多个磁铁以磁极沿所述移动方向交替排列S极和N极的方式等间距地设置于所述滑件。

3.根据权利要求2所述的线性马达，其特征在于：

所述磁性标尺的长度、所述磁铁的排列、及所述下游侧位置检测单元与所述上游侧位置检测单元在所述移动方向上的间隔以如下方式设定：当与所述移动方向上的该传感器基板的上游侧相邻的传感器基板的所述下游侧位置检测单元，与所述磁性标尺的上游侧端部相向时，与移动方向上的该传感器基板的下游侧相邻的传感器基板的所述上游侧位置检测单元，与所述磁性标尺的下游侧端部相向，而且所述磁性标尺的上游侧端部的磁极与所述磁性标尺的下游侧端部的磁极同为S极和N极的任一者。

4.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于：

所述上游侧位置检测单元和所述下游侧位置检测单元分别由在所述移动方向上位置不同的两个传感器构成，

所述位置检测信号合计部将来自与所述移动方向上的所述传感器基板的上游侧相邻的传感器基板的下游侧位置检测单元的所述移动方向上游侧的传感器的位置检测信号、和来自与所述传感器基板的下游侧相邻的传感器基板的上游侧位置检测单元的所述移动方向上游侧的传感器的位置检测信号相加，另一方面，将来自与所述移动方向上的所述传感器基板的上游侧相邻的传感器基板的下游侧位置检测单元的所述移动方向下游侧的传感器的位置检测信号、和来自与所述传感器基板的下游侧相邻的传感器基板的上游侧位置检测单元的所述移动方向下游侧的传感器的位置检测信号相加。

5.根据权利要求4所述的线性马达，其特征在于还包括：

磁性标尺，与所述上游侧位置检测单元及所述下游侧位置检测单元相向；其中，

所述磁性标尺具有多个磁铁，所述多个磁铁以磁极沿所述移动方向交替排列S极和N极的方式等间距地设置于所述滑件，

所述磁性标尺的长度、磁铁的排列、及所述下游侧位置检测单元与所述上游侧位置检测单元在所述移动方向上的间隔以如下方式设定：与所述移动方向上的所述传感器基板的上游侧相邻的传感器基板的下游侧位置检测单元的所述移动方向上游侧的传感器、和与所述传感器基板的下游侧相邻的传感器基板的上游侧位置检测单元的所述移动方向上游侧的传感器，或者与所述移动方向上的所述传感器基板的上游侧相邻的传感器基板的下游侧位置检测单元的所述移动方向下游侧的传感器、和与所述传感器基板的下游侧相邻的传感器基板的上游侧位置检测单元的所述移动方向下游侧的传感器，分别与所述磁性标尺的下游侧端部的所述磁铁相向，而且该下游侧位置检测单元和该上游侧位置检测单元所向的所述磁极同为S极和N极的任一者，

该上游侧位置检测单元和该下游侧位置检测单元中的各两个传感器的所述移动方向上的设置间距设为：磁性标尺的相邻的磁铁的设置间距乘以1/2或乘以3/2或乘以这些数加上2的整数倍后的值。