[发明专利]薄板玻璃的制造方法以及玻璃基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及对玻璃母材进行加热延伸而形成的薄板玻璃的制造方法以及使用了薄板玻璃的基板的制造方法。

背景技术

以往以来，对半导体元件的基板、在电场效应型的平板显示器中使用的间隔器(spacer)和在磁盘基板等中使用的玻璃板寻求板厚均匀度和表面粗糙度优化。

作为制造具有规定的厚度且提高表面粗糙度的薄板玻璃的方法，提出有加热软化玻璃母材而使其延伸为规定的厚度的薄板玻璃的方法等(参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开平11-199255号公报

发明概要

发明要解决的课题

但是，在使用专利文献1中记载的制造方法对通过浮(float)法制造的板玻璃进行加热软化使其延伸来制造薄板玻璃的情况下，存在以下问题，即，制造的薄板玻璃的板厚均匀度受到玻璃母材的板厚分布的影响，有时会无法得到希望的板厚均匀度。

本发明鉴于上述而形成，目的在于，提供一种即使在对由浮法制造的玻璃母材进行加热延伸的情况下，也能够制造板厚均匀度优异的薄板玻璃和玻璃基板的薄板玻璃的制造方法以及玻璃基板的制造方法。

发明内容

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，达成上述目的，本发明涉及的薄板玻璃的制造方法是具有对由浮法制造的玻璃母材进行加热使其软化并使其延伸为希望的厚度从而形成薄板玻璃的再曳引(redraw)工序的薄板玻璃的制造方法，其特征在于，将再曳引工序中的玻璃母材的延伸方向相对于在浮法中流过熔融玻璃的流动方向设为90度的方向。

本发明涉及的薄板玻璃的制造方法，其特征在于，在上述发明中，包括控制工序，在该控制工序中，基于玻璃母材的板厚分布来控制玻璃母材的传送速度和拉拔玻璃母材的拉拔速度中的至少一个速度。即，在本发明中，对玻璃母材的传送速度以及拉拔速度中的至少一个速度进行基于玻璃母材的板厚分布的前馈控制。

本发明涉及的薄板玻璃的制造方法，其特征在于，在上述发明中，具有拉拔速度控制工序，在该拉拔速度控制工序中，基于玻璃母材的板厚分布来控制拉拔玻璃母材的拉拔速度；控制工序包括拉拔速度补正工序，在该拉拔速度补正工序中，测定由先行的第一玻璃母材成形的薄板玻璃的沿着长边方向的板厚分布，基于测定的薄板玻璃的板厚分布和薄板玻璃的目标板厚之差的分布来计算拉拔第一玻璃母材的拉拔速度的补正值，使用补正值对后行的第二玻璃母材的拉拔速度进行补正。即，在本发明中，对于在先行的第一玻璃母材之后通过再曳引法而延伸的后行的第二玻璃母材的拉拔速度，基于由第一玻璃母材成形的薄板玻璃的板厚与目标板厚之差的分布，进行反馈控制。并且，在这样的构成中，优选，在浮法中从在流动熔融玻璃的流动方向上相邻的位置上切取第一玻璃母材和第二玻璃母材。

本发明涉及的玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括：薄板玻璃制造工序，通过上述发明涉及的薄板玻璃的制造方法来制造薄板玻璃；以及核化(coring)工序，按照使玻璃基板的中心大致位于薄板玻璃的宽度方向的中央上的方式而核化为一列。

发明效果

根据本发明涉及的薄板玻璃的制造方法以及玻璃基板的制造方法，在通过再曳引法来对由浮法制造的板玻璃进行加热延伸的情况下，能够制造板厚均匀度较高的薄板玻璃和规定形状的玻璃基板。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的浮板和从浮板切取的2个种类的玻璃母材的概略线图。

图2是表示本发明的一实施方式的A类型的玻璃母材沿着长边方向的板厚分布的曲线图。

图3是表示作为本发明的一实施方式的比较例的B类型的玻璃母材沿着长边方向的板厚分布的曲线图。

图4是表示本发明的一实施方式的基于再曳引法的薄板玻璃制造装置的概略构成的示意图。

图5是使在本发明的一实施方式中测定的玻璃母材的测定位置、沿着长边方向的板厚分布、以及薄板玻璃的条厚与玻璃母材的长边方向相对应的条厚分布的曲线图。

图6是表示本发明的一实施方式的薄板玻璃制造装置的拉拔速度沿着母材长度的速度的控制的曲线图。

图7是表示通过本发明的一实施方式的基于再曳引法的薄板玻璃制造装置制造的薄板玻璃的条厚的变化的曲线图。

图8是表示基于本发明的一实施方式的控制方法制造的再曳引条沿着长边方向的条厚分布的曲线图。

图9是用于说明从通过本发明的一实施方式制造的薄板玻璃对玻璃基板进行核化的方法的概略线图。