[发明专利]静电电容检测电路

说明书

技术领域

本发明涉及检测物理量传感器的可动电极及固定电极间的静电电容的静电电容检测电路，其中，该物理量传感器具备静电电容会随着物理量的变化而发生变化的所述可动电极及固定电极。

背景技术

加速度传感器、陀螺仪、位移传感器、压力传感器等检测物理量变化来作为静电电容变化的物理量传感器中，在需要静电电容检测电路具有高分辨率的情况下，或在追求低成本、小型化而将MEMS(Micro Electro Mechanical System：微电子机械系统)传感器与静电电容检测电路进行组合的情况下，要求确保绝缘电阻，并降低电路噪声。

因此，在专利文献1所记载的现有例中，记载有以下印刷布线基板的制造方法：为了无需使用由具有吸湿性的阻焊膜形成的阻焊层，并且防止安装部中焊锡的流动，至少在含有有机树脂的绝缘性基板的表面上埋入金属导体层，然后对金属导体层中的、例如焊接电子元器件端子的安装部位的表面进行蚀刻，形成以距离绝缘性基板表面0.5～30μm的深度凹陷的凹部。

此外，在专利文献2所记载的现有例中，为了提供在较高湿度下绝缘电阻等电气特性也不会恶化的阻焊油墨组合物及具有该阻焊油墨组合物的固化涂膜的印刷布线板，提出了一种印刷布线板，该印刷布线板在具有着色剂、固化性树脂、活性稀释剂、聚合引发剂、以及填充剂的阻焊油墨组合物中，具有包含环胺类化合物的阻焊油墨塑性物及其涂膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1： 日本专利特开平10-173296号公报

专利文献2： 日本专利特开2003-98660号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在上述专利文献1所记载的现有例中，需要在绝缘性基板的表面埋入金属导体层之后，对金属导体层中焊接电子元器件端子的安装部位的表面进行蚀刻，并形成以距离绝缘性基板的表面0.5～30μm的深度凹陷的凹部，从而存在结构变得复杂这样的未解决的问题。

此外，在专利文献2所记载的现有例中，需要使用具有特殊组成的阻焊油墨组合物，从而存在制造成本增加这样的未解决的问题。

于是，本发明是着眼于上述专利文献1及2所记载的现有例的未解决的问题而完成的，本发明的目的在于提供一种静电电容检测电路，该静电电容检测电路能够以简单的结构来防止因吸湿恶化而导致的绝缘电阻的降低，并能够防止噪声的增大。

解决技术问题所采用的技术方案

为达到上述目的，本发明的静电电容检测电路对物理量传感器的可动电极及固定电极间微小的静电电容进行检测，其中，该物理量传感器具备静电电容会随着物理量的变化而发生变化的所述可动电极及固定电极。该静电电容检测电路至少包括：偏置电压生成电路，该偏置电压生成电路生成提供给所述可动电极及固定电极中的一个电极的偏置电压；运算放大器，将所述可动电极及固定电极中的另一个电极输入该运算放大器的一个输入端子，将该运算放大器的另一个输入侧进行接地；以及印刷布线基板，在该印刷布线基板上安装所述物理量传感器、所述偏置电压生成电路及所述运算放大器。接着，将所述印刷布线基板上的绝缘确保区域设置为吸湿减少区域，该绝缘确保区域至少包含所述物理量传感器的电极连接焊盘、所述运算放大器的输入侧连接焊盘、以及连接在所述电极连接焊盘及所述输入侧连接焊盘之间的输入侧电路元器件的连接焊盘中的连接至所述运算放大器的输入侧的连接焊盘。

此外，本发明所涉及的静电电容检测电路的第二方式为：所述输入侧电路元器件由连接在所述运算放大器的输出端子与一个输入端子之间的电容器及电阻构成。