[发明专利]静电电容检测电路

权利要求书

1.一种静电电容检测电路，该静电电容检测电路对物理量传感器的可动电极及固定电极间微小的静电电容进行检测，所述物理量传感器具备静电电容会随着物理量的变化而发生变化的所述可动电极及固定电极，其特征在于，

所述静电电容检测电路至少包括：偏置电压生成电路，该偏置电压生成电路生成提供给所述可动电极及固定电极中的一个电极的偏置电压；运算放大器，将所述可动电极及固定电极中的另一个电极输入该运算放大器的一个输入端子，将该运算放大器的另一个输入侧进行接地；以及印刷布线基板，在该印刷布线基板上安装所述物理量传感器、所述偏置电压生成电路及所述运算放大器，

将所述印刷布线基板上的绝缘确保区域设为吸湿减少区域，该绝缘确保区域至少包含所述物理量传感器的电极连接焊盘及所述运算放大器的输入侧连接焊盘、以及连接在所述电极连接焊盘及所述输入侧连接焊盘之间的输入侧电路元器件的连接焊盘中的连接至所述运算放大器的输入侧的连接焊盘。

2.如权利要求1所述的静电电容检测电路，其特征在于，

所述输入侧电路元器件是连接在所述运算放大器的输出端子与一个输入端子之间的电容器及电阻。

3.一种静电电容检测电路，该静电电容检测电路对具备一对电极部的差动结构的物理量传感器的所述一对电极部的微小静电电容进行检测，所述一对电极部由静电电容会随着物理量的变化而发生变化的可动电极及固定电极构成，其特征在于，

所述静电电容检测电路至少包括：偏置电压生成电路，该偏置电压生成电路生成提供给所述一对电极部中可动电极及固定电极中的一个电极的偏置电压；运算放大器，将所述一对电极部中可动电极及固定电极中的另一个电极输入该运算放大器的输入端子，并对所述一对电极部中可动电极及固定电极间的微小静电电容的差分进行放大；以及印刷布线基板，在该印刷布线基板上安装所述物理量传感器、所述偏置电压生成电路及所述运算放大器，

将所述印刷布线基板上的绝缘确保区域设为吸湿减少区域，该绝缘确保区域至少包含所述一对电极部的连接至所述运算放大器的电极连接部、所述运算放大器的输入侧连接部、以及连接在所述电极连接部及所述输入侧连接部之间的输入侧电路元器件的连接部中的与该输入侧连接部相连接的连接部。

4.如权利要求3所述的静电电容检测电路，其特征在于，

所述输入电路元器件是第一电容器和电阻的并联电路、以及第二电容器、第三电容器和电阻的并联电路，其中，所述第一电容器和电阻的并联电路连接在所述一对电极部中的一个电极部和所述运算放大器的一个输入端子间与接地之间，所述第二电容器连接在所述一对电极部中的另一个电极部和所述运算放大器的另一个输入端子间与接地之间，所述第三电容器和电阻连接在所述运算放大器的输出端子与另一个输入端子之间。

5.如权利要求1至4的任一项所述的静电电容检测电路，其特征在于，

所述吸湿减少区域中形成有：抗蚀剂涂布区域，该抗蚀剂涂布区域以覆盖所述绝缘确保区域的方式涂布有抗蚀剂；以及带状分离区域，该带状分离区域包围所述绝缘确保区域，以使得所述抗蚀剂涂布区域与周围的抗蚀剂涂布区域分离，将所述带状分离区域设为非抗蚀剂涂布区域，并将所述带状分离区域设为非丝网印刷印刷区域。

6.如权利要求1至4的任一项所述的静电电容检测电路，其特征在于，

对于所述吸湿减少区域，将所述绝缘确保区域的整个表面设为非抗蚀剂涂布区域，并将所述绝缘确保区域的整个表面设为非丝网印刷印刷区域。

7.如权利要求1至6的任一项所述的静电电容检测电路，其特征在于，

所述偏置电压生成电路具有生成正弦波、方形波等交流波形的载波信号的结构。

8.如权利要求1至6的任一项所述的静电电容检测电路，其特征在于，

所述偏置电压生成电路具有生成直流偏置电压的结构。