[发明专利]在使用离子溶液电沉积的包括Al-Mn和类似合金的多层合金中调节纳米尺度的晶粒尺寸分布在审
| 申请号: | 201280048552.9 | 申请日: | 2012-08-02 |
| 公开(公告)号: | CN103906863A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
| 发明(设计)人: | 蔡文君;克里斯多佛·A·舒 | 申请(专利权)人: | 麻省理工学院 |
| 主分类号: | C25D3/56 | 分类号: | C25D3/56 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 周李军;孟慧岚 |
| 地址: | 美国麻*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 使用 离子 溶液 沉积 包括 al mn 类似 合金 多层 调节 纳米 尺度 晶粒 尺寸 分布 | ||
1. 一种用于沉积包含至少两种金属组分的合金的方法,所述方法包括以下步骤:
a. 提供包含至少两种金属组分的溶解物类的离子液体,所述金属组分在不同的电力水平下以彼此不同的比例电沉积;
b. 在所述液体中提供第一电极和第二电极,所述液体与电源连接,所述电源设置成供应具有第一恒定水平阶段和不同的第二恒定水平阶段的电力;
c. 使用所述第一电力水平驱动所述电源经过第一持续时间,以在基材上沉积所述至少两种金属组分的第一类型合金,基于所述第一持续时间,所述第一类型沉积物具有第一厚度;和
d. 使用所述第二电力水平驱动所述电源经过第二持续时间,以在所述基材上的先前沉积的合金上沉积所述至少两种金属组分的第二类型合金,基于所述第二持续时间,所述第二类型沉积物具有第二厚度。
2. 权利要求1的方法,所述方法还包括重复步骤c和d的每一个至少另外一次,以沉积第一类型合金和沉积第二类型合金。
3. 权利要求1-2中任一项的方法,进一步其中由于沉积所述沉积物的电力水平,产生所述第一类型和第二类型沉积物的第一性质。
4. 权利要求1-2中任一项的方法,进一步其中由于沉积所述沉积物的电力水平,产生所述第一类型和第二类型沉积物的第一性质,所述方法还包括以下步骤:驱动所述电源以实现相应于所述第一性质的期望情况的电力水平。
5. 权利要求3-4中任一项的方法,所述第一性质包含晶粒尺寸。
6. 权利要求3-4中任一项的方法,所述第一性质包含合金组成。
7. 权利要求5的方法,进一步其中由于所述第一和第二沉积物的组的厚度波长以及所述第一和第二类型沉积物的晶粒尺寸,产生所述第一类型和第二类型的组合沉积物的第二性质。
8. 权利要求5的方法,进一步其中由于所述第一和第二沉积物的组的厚度波长以及所述第一和第二类型沉积物的晶粒尺寸,产生所述第一类型和第二类型的组合沉积物的第二性质,所述方法还包括以下步骤:驱动所述电源以实现相应于期望的晶粒尺寸的电力水平以及驱动所述电源经过第一持续时间和第二持续时间以实现相应于所述第二性质的期望情况的波长。
9. 权利要求5的方法,其中进行使用所述第一电力水平驱动所述电源经过第一持续时间和使用所述第二电力水平驱动所述电源经过第二持续时间的步骤,使得所述第一和第二沉积物的平均晶粒尺寸大于所述第一和第二沉积物的组的厚度波长。
10. 权利要求5的方法,其中进行使用所述第一电力水平驱动所述电源经过第一持续时间和使用所述第二电力水平驱动所述电源经过第二持续时间的步骤,使得所述第一和第二沉积物的平均晶粒尺寸小于所述第一和第二沉积物的组的厚度波长。
11. 权利要求5的方法,其中进行使用所述第一电力水平驱动所述电源经过第一持续时间和使用所述第二电力水平驱动所述电源经过第二持续时间的步骤,使得所述第一和第二沉积物的最小晶粒尺寸大于所述第一和第二沉积物的组的厚度波长。
12. 权利要求5的方法,其中进行使用所述第一电力水平驱动所述电源经过第一持续时间和使用所述第二电力水平驱动所述电源经过第二持续时间的步骤,使得所述第一和第二沉积物的最大晶粒尺寸小于所述第一和第二沉积物的组的厚度波长。
13. 权利要求5的方法,其中进行使用所述第一电力水平驱动所述电源经过第一持续时间和使用所述第二电力水平驱动所述电源经过第二持续时间的步骤,使得在所述沉积物的一些部分中,所述第一和第二沉积物的平均晶粒尺寸大于所述第一和第二沉积物的组的厚度波长,并且在所述沉积物的相邻部分中,所述第一和第二沉积物的平均晶粒尺寸小于所述厚度波长。
14. 权利要求1-13中任一项的方法,所述方法还包括使用第二离子液体重复步骤1a、b、c和d的每一个,所述第二离子液体在组成上与所述第一离子液体不同,以在所述第一和第二类型沉积物上提供第三和第四类型沉积物。
15. 权利要求1-14中任一项的方法,其中使用所述第一电力水平驱动所述电源的步骤包括驱动所述电源以递送第一恒定电流密度,且其中使用所述第二电力水平驱动所述电源的步骤包括驱动所述电源以提供第二恒定电流密度。
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