[发明专利]具有带间隙的肋条的机电系统结构

说明书

相关申请案的交叉参考

本专利申请案主张于2011年8月26日申请的标题为“微机电装置及其制造方法(Micro-electromechanical Device and Method of Manufacturing)”的第61／527,843号美国临时专利申请案号及2012年8月22日申请的标题为“具有带间隙的肋条的机电系统结构(Electromechanical System Structures with Ribs Having Gaps)”的第13／591,842号美国专利申请案的权益。所述先前申请案的揭示内容被视为本专利申请案的一部分且其全文为以引用方式并入本专利申请案中。

技术领域

本发明涉及机电系统(EMS)。特定来说，本发明涉及具有具间隙的肋条以提供应力消除及局部变形的EMS结构。

背景技术

某些显示器经设计以通过使用光闸对光进行调制而产生图像。这些光闸由光闸组合件支撑且致动，所述光闸组合件不仅包含光闸，其还包含用于致动所述光闸的致动器及用于将所述光闸支撑于衬底上的锚固件。此类光闸存在变形而失去其所要配置的趋势。可通过包含跨光闸延伸的肋条来消除此趋势。尽管包含肋条赋予光闸更大刚性，但施加于所述更刚性的光闸上的应力可造成所述整个光闸发生面外变形。此全局变形负面地影响光闸组合件的可制造性，且负面地影响所述光闸组合件适当地发挥功能。

发明内容

本发明的系统、方法及装置各自具有若干创新方面，其中无单一者单独负责实现本文所揭示的希望的属性。

本发明中所述的标的物的一个创新方面可在EMS组合件中实施，EMS组合件包含衬底、安置于所述衬底上的锚固件及由所述锚固件支撑于所述衬底上的悬置平面本体。所述悬置平面本体包含从所述悬置平面本体的平面延伸出且朝向所述衬底突出的至少一个凹部。所述悬置平面本体还包含对应于所述至少一个凹部中的间隙的实质上水平部分。所述实质上水平部分从所述悬置平面本体的第一边缘沿所述悬置平面本体的所述平面延伸到所述悬置平面本体的相对的第二边缘，且所述间隙的范围达所述悬置平面本体的长度的20％。

在一些实施方案中，所述第一边缘及所述第二边缘实质上垂直于所述悬置平面本体的运动方向。在一些实施方案中，所述悬置平面本体在所述第一边缘处的厚度实质上相同于所述悬置平面本体在所述第二边缘处的厚度。在一些实施方案中，所述悬置平面本体形成有孔隙，所述第一边缘形成所述悬置平面本体的外围的至少一部分，且所述第二边缘形成所述孔隙的周边的至少一部分。

在一些实施方案中，所述实质上水平部分背向所述衬底。在一些实施方案中，所述实质上水平部分安置于单一连续凹部的若干部分之间。在其它实施方案中，所述实质上水平部分安置于多个相异的凹部之间。在一些实施方案中，所述悬置平面本体为基于光闸的光调制器的光闸。

本发明中所述的标的物的另一创新方面可在EMS组合件中实施，EMS组合件包含衬底、安置于所述衬底上的锚固件及由所述锚固件支撑于所述衬底上的悬置平面本体。所述悬置平面本体界定第一孔隙及第二孔隙且包含从所述悬置平面本体的平面延伸出的至少一个凹部。所述悬置平面本体还包含对应于所述至少一个凹部中的间隙的实质上水平部分。所述实质上水平部分从所述悬置平面本体的第一边缘沿所述悬置平面本体的所述平面延伸到所述悬置平面本体的相对第二边缘，所述第一边缘形成所述第一孔隙的周边的至少一部分，且所述第二边缘形成所述第二孔隙的周边的至少一部分。

在一些实施方案中，所述间隙的范围小于所述至少一个凹部的宽度。在一些实施方案中，所述实质上水平部分重叠于所述悬置平面本体的几何中心。在一些实施方案中，所述第一边缘及所述第二边缘实质上垂直于所述悬置平面本体的运动方向。

本发明中所述的标的物的另一创新方面可在一种EMS组合件中实施，EMS组合件包含衬底、安置于所述衬底上的锚固件及由所述锚固件支撑于所述衬底上的悬置平面本体。所述悬置平面本体包含从所述悬置平面本体的平面延伸出的至少一个凹部。所述悬置平面本体还包含对应于所述至少一个凹部中的间隙的实质上水平部分。所述实质上水平部分从所述悬置平面本体的第一边缘沿所述悬置平面本体的所述平面延伸到所述悬置平面本体的相对第二边缘。所述第一边缘及所述第二边缘中的至少一者实质上垂直于所述悬置平面本体的长度，且所述间隙的范围达所述悬置平面本体的所述长度的20％。