[发明专利]具有带间隙的肋条的机电系统结构

权利要求书

1.一种机电系统EMS组合件，其包括：

衬底；

锚固件，其安置于所述衬底上；及

悬置平面本体，其由所述锚固件支撑于所述衬底上，其中所述悬置平面本体包含：

至少一个凹部，其从所述悬置平面本体的平面延伸出且朝向所述衬底突出，及

实质上水平部分，其对应于所述至少一个凹部中的间隙，其中所述实质上水平部分从所述悬置平面本体的第一边缘沿所述悬置平面本体的所述平面延伸到所述悬置平面本体的相对的第二边缘，且所述间隙的范围达所述悬置平面本体的长度的20％。

2.根据权利要求1所述的EMS组合件，其中所述第一边缘及所述第二边缘实质上垂直于所述悬置平面本体的运动方向。

3.根据权利要求1所述的EMS组合件，其中所述悬置平面本体在所述第一边缘处的厚度实质上相同于所述悬置平面本体在所述第二边缘处的厚度。

4.根据权利要求1所述的EMS组合件，其中所述悬置平面本体形成有孔隙，所述第一边缘形成所述悬置平面本体的外围的至少一部分，且所述第二边缘形成所述孔隙的周边的至少一部分。

5.根据权利要求4所述的EMS组合件，其中所述实质上水平部分背向所述衬底。

6.根据权利要求1所述的EMS组合件，其中所述实质上水平部分安置于单一连续凹部的若干部分之间。

7.根据权利要求1所述的EMS组合件，其中所述实质上水平部分安置于多个相异的凹部之间。

8.根据权利要求1所述的EMS组合件，其中所述悬置平面本体为基于光闸的光调制器的光闸。

9.根据权利要求1所述的EMS组合件，其进一步包括：

梁，其具有第一端及第二端，其中所述梁在所述第一端连接到所述锚固件，所述悬置平面本体在梁附接位置连接到所述梁的所述第二端，且所述实质上水平部分邻近于所述梁附接位置。

10.根据权利要求9所述的EMS组合件，其中所述梁的所述第一端连接到所述锚固件的面向所述悬置平面本体的一侧。

11.一种机电系统EMS组合件，其包括：

衬底；

锚固件，其安置于所述衬底上；及

悬置平面本体，其由所述锚固件支撑于所述衬底上，其中所述悬置平面本体界定第一孔隙及第二孔隙且包含：

至少一个凹部，其从所述悬置平面本体的平面延伸出；及

实质上水平部分，其对应于所述至少一个凹部中的间隙，其中所述实质上水平部分从所述悬置平面本体的第一边缘沿所述悬置平面本体的所述平面延伸到所述悬置平面本体的相对第二边缘，所述第一边缘形成所述第一孔隙的周边的至少一部分，且所述第二边缘形成所述第二孔隙的周边的至少一部分。

12.根据权利要求11所述的EMS组合件，其中所述间隙的范围小于所述至少一个凹部的宽度。

13.根据权利要求11所述的EMS组合件，其中所述实质上水平部分重叠于所述悬置平面本体的几何中心。

14.根据权利要求11所述的EMS组合件，其中所述第一边缘及所述第二边缘实质上垂直于所述悬置平面本体的运动方向。

15.一种机电系统EMS组合件，其包括：

衬底；

锚固件，其安置于所述衬底上；及

悬置平面本体，其由所述锚固件支撑于所述衬底上，其中所述悬置平面本体包含：

至少一个凹部，其从所述悬置平面本体的平面延伸出；及

实质上水平部分，其对应于所述至少一个凹部中的间隙，其中所述实质上水平部分从所述悬置平面本体的第一边缘沿所述悬置平面本体的所述平面延伸到所述悬置平面本体的相对第二边缘，所述第一边缘及所述第二边缘中的至少一者实质上垂直于所述悬置平面本体的长度，且所述间隙的范围达所述悬置平面本体的所述长度的20％。

16.根据权利要求15所述的EMS组合件，其中所述第一边缘及所述第二边缘中的至少一者实质上平行于所述悬置平面本体的运动方向。

17.根据权利要求15所述的EMS组合件，其中所述间隙的所述范围达所述悬置平面本体的所述长度的10％。