[发明专利]带碱金属阻挡层的玻璃基板及带透明导电性氧化物膜的玻璃基板无效
| 申请号： | 201280042971.1 | 申请日： | 2012-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN103781737A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 林英明;箕轮明久;关淳志;东诚二;广松邦明;冈畑直树 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C17/245 | 分类号： | C03C17/245;B32B9/04;B32B17/00;C03C17/34;C23C16/40;H01L31/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碱金属 阻挡 玻璃 透明 导电性 氧化物 | ||
1.带碱金属阻挡层的玻璃基板，其是在玻璃基板上形成有碱金属阻挡层的带碱金属阻挡层的玻璃基板，其特征在于，
所述碱金属阻挡层由硅(Si)和锡(Sn)的混合氧化物构成，将所述碱金属阻挡层的膜厚设为L(nm)时，所述混合氧化物的硅(Si)和锡(Sn)的比例在膜厚方向上发生变化，锡(Sn)相对于所述混合氧化物中的硅(Si)和锡(Sn)的总和的摩尔比Sn/(Si+Sn)的极小值位于满足如下条件的位置：在所述碱金属阻挡层的膜厚方向上，与所述碱金属阻挡层的界面中的玻璃基板侧的界面的距离为0.2L～0.8L；
所述极小值是所述摩尔比的最大值的0.5倍以下。
2.如权利要求1所述的带碱金属阻挡层的玻璃基板，其特征在于，所述极小值为0.1以下。
3.如权利要求1或2所述的带碱金属阻挡层的玻璃基板，其特征在于，所述最大值为0.05以上0.7以下。
4.如权利要求1～3中任一项所述的带碱金属阻挡层的玻璃基板，其特征在于，所述碱金属阻挡层的膜厚为2～50nm。
5.如权利要求1～4中任一项所述的带碱金属阻挡层的玻璃基板，其特征在于，所述玻璃基板是含有碱金属氧化物的含碱玻璃。
6.如权利要求1～5中任一项所述的带碱金属阻挡层的玻璃基板，其特征在于，在所述玻璃基板和所述碱金属阻挡层之间设置有TiO2层或者由TiO2层和SiO2层层叠而成的多层膜。
7.如权利要求1～6中任一项所述的带碱金属阻挡层的玻璃基板，其特征在于，在所述玻璃基板的形成所述碱金属阻挡层的面上形成有微细的凹凸。
8.如权利要求1～7中任一项所述的带碱金属阻挡层的玻璃基板，其特征在于，在所述玻璃基板和所述碱金属阻挡层之间或者在所述碱金属阻挡层的表面设置有SiO2层。
9.带透明导电性氧化物膜的玻璃基板，其特征在于，在权利要求1～8中任一项所述的带碱金属阻挡层的玻璃基板的碱金属阻挡层上形成有掺氟氧化锡膜作为透明导电性氧化物膜。
10.带透明导电性氧化物膜的玻璃基板，其特征在于，在权利要求1～8中任一项所述的带碱金属阻挡层的玻璃基板的碱金属阻挡层上层叠有氧化锡膜和掺氟氧化锡膜作为透明导电性氧化物膜。
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