[发明专利]非接触式搬送设备

权利要求书

1.一种以非接触的方式搬送板状构件的非接触式搬送设备，所述非接触式搬送设备包括：

板状基体；以及

多个旋流形成体，所述多个旋流形成体设置在所述基体上，其中所述多个旋流形成体中的每一个旋流形成体均包括：

柱状主体；

圆筒室，所述圆筒室形成在所述主体内部，所述圆筒室在一端具有开口；

平坦的端面，所述端面形成在所述主体的表面上，所述圆筒室在该表面上开口；

喷射口，所述喷射口设置在所述圆筒室的内周表面上；

流体引入口，所述流体引入口设置在所述主体的外周表面上；以及

流体通道，所述流体通道将所述流体引入口连接到所述喷射口，其中，所述流体通道被布置为使得沿着所述端面流出所述圆筒室的流体的方向与从被搬送的所述板状构件的重心朝向该板状构件的外周延伸的线基本平行。