[发明专利]功率器件用的探针卡

权利要求书

1.一种探针卡，其在检查形成于半导体晶片的多个功率器件的动态特性时使用，该探针卡的特征在于，包括：

与所述功率器件的发射极电极电接触的第一探针；

与所述第一探针连接的块状的第一连接端子；

与所述功率器件的栅极电极电接触的第二探针；

与所述第二探针连接的块状的第二连接端子；

能够与所述功率器件的集电极电极侧电接触的接触板；和

固定于所述接触板的块状的第三连接端子，

所述第一连接端子、第二连接端子、第三连接端子分别与对应的测试器侧的连接端子直接电接触。

2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于：

所述第一连接端子、第二连接端子分别以贯通支承基板、并且从所述支承基板的两个面露出的方式固定于所述支承基板，所述接触板固定于所述支承基板的所述第一探针、第二探针侧的面，所述第三连接端子贯通在所述支承基板上形成的孔。

3.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于：

在所述第一连接端子、第二连接端子、第三连接端子的所述测试器侧的面上，分别形成有中央部鼓起的板簧部。

4.如权利要求3所述的探针卡，其特征在于：

所述板簧部包括多个带状部。

5.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于：

所述第一连接端子、第二连接端子、第三连接端子分别具有连接件。

6.一种探针卡，其在检查形成于半导体晶片的多个功率器件的动态特性时使用，该探针卡的特征在于，包括：

与所述功率器件的发射极电极电接触的第一探针；

与所述功率器件的栅极电极电接触的第二探针；

具有与所述第一探针、第二探针分别连接的配线图案的电路基板；

固定于所述电路基板的所述第一探针、第二探针侧的面，能够与所述功率器件的集电极电极侧电接触的接触板；

设置于测试器，并且分别与所述第一探针、第二探针的配线图案电接触的块状的第一连接端子、第二连接端子；和

设置于所述测试器，并且贯通在所述电路基板上形成的孔，与所述接触板电接触的块状的第三连接端子。

7.如权利要求6所述的探针卡，其特征在于：

所述第一连接端子、第二连接端子的与所述配线图案接触的面上，分别形成有中央部鼓起的板簧部。

8.如权利要求7所述的探针卡，其特征在于：

所述板簧部包括多个带状部。

9.如权利要求6所述的探针卡，其特征在于：

所述第一连接端子、第二连接端子、第三连接端子分别具有连接件。