[发明专利]用于洁净室材料传输系统的狭窄宽度加载端口机构

权利要求书

1.一种加载端口系统，包括：

框架；

关节臂；

微环境；以及

塔，其设置于端口板之下而位于所述微环境中，所述塔包括：

多个马达，所述多个马达中的第一者机械联接至所述微环境以竖直移动所述微环境，所述多个马达中的第二者机械联接至所述关节臂组件以移动所述关节臂组件；以及

塔壳，将所述多个马达与所述微环境隔离开。

2.如权利要求1所述的系统，其中所述多个马达设置在所述微环境与所述加载端口的基座板之间，所述基座板联接至所述框架。

3.如权利要求1所述的系统，其中所述微环境包括过滤器组件和联接至所述过滤器组件的第一风扇，用以引导过滤的空气穿过所述过滤器组件并进入所述微环境中。

4.如权利要求1所述的系统，其中所述塔壳包括第二风扇，用以将空气从所述塔壳中吸出并送至外部环境。

5.如权利要求4所述的系统，其中所述第二风扇吸引空气穿过所述第二风扇并沿向下方向离开所述塔壳。

6.如权利要求1所述的系统，其中所述微环境的内部容体为等级1的洁净环境。

7.如权利要求1所述的系统，其中所述多个马达包括所述多个马达中的第三者，其机械联接至所述关节臂，用以将所述关节臂从所述框架水平移开并移向处理工具。

8.如权利要求1所述的系统，其中所述关节臂包括抓取器组件。

9.如权利要求8所述的系统，其中所述抓取器组件包括转动抓取器。

10.如权利要求1所述的系统，其中所述加载端口系统的宽度于功能上等于处理工具中基板卡匣位置的宽度。

11.一种基板运输系统，包括：

多个加载端口系统，其联接至处理工具，所述处理工具具有多个基板卡匣位置，所述多个加载端口系统中的每一者包括：

框架；

关节臂；

微环境；以及

塔，其设置于端口板之下而位于所述微环境中，所述塔包括：

多个马达，所述多个马达中的第一者机械联接至所述微环境以竖直移动所述微环境，所述多个马达中的第二者机械联接至所述关节臂组件以移动所述关节臂组件；以及

塔壳，将所述多个马达与所述微环境隔离开，

其中所述多个加载端口系统中的每一者与所述处理工具中所述多个基板卡匣位置中对应的一个对齐。

12.如权利要求11所述的系统，其中所述多个加载端口系统中的每一者的宽度基本上等于所述多个基板卡匣位置中的一者的宽度。

13.一种运输基板的方法，包括：

将加载端口系统与处理工具中多个基板卡匣位置中对应的一个对齐，所述加载端口系统包括：

框架；

关节臂；

微环境；以及

塔，其设置于端口板之下而位于所述微环境中，所述塔包括：

多个马达，所述多个马达中的第一者机械联接至所述微环境以垂直移动所述微环境，所述多个马达中的第二者机械联接至所述关节臂组件以移动所述关节臂组件；以及

塔壳，将所述多个马达与所述微环境隔离开。

14.如权利要求13所述的方法，其中所述加载端口系统包括多个加载端口系统，且其中将所述加载端口系统与所述处理工具中所述多个基板卡匣位置中的一者对齐的步骤包括将所述多个加载端口系统中的每一者和所述处理工具中所述多个基板卡匣位置中对应的一个对齐。

15.如权利要求13所述的方法，其中所述多个马达设置在所述微环境与所述加载端口系统的基座板之间，所述基座板联接至所述框架。

16.如权利要求13所述的方法，还包括引导空气穿过过滤器组件并进入所述微环境中。

17.如权利要求13所述的方法，还包括将空气从所述塔壳中吸出并送至外部环境。

18.如权利要求13所述的方法，其中所述微环境中的空气压力大于所述塔壳中的空气压力。

19.如权利要求13所述的方法，还包括沿向下方向将空气从所述塔壳中吸出至外部环境。

20.如权利要求1所述的系统，其中所述微环境的内部容体为等级1洁净室环境。