[发明专利]清洗装置

权利要求书

1.一种清洗装置，其具有：

旋转保持部，其保持清洗对象物并使其旋转；

清洗液喷射部，其向被所述旋转保持部所保持的所述清洗对象物上的点状的清洗区域喷射清洗液；

清洗区域移动部，其使所述旋转保持部和所述清洗液喷射部中的至少一方移动，从而使所述清洗区域从所述清洗对象物的旋转中心朝外周侧相对移动；

层状气流形成部，其以从所述清洗区域相对于所述旋转中心的相对移动方向的后方侧覆盖所述清洗区域的周围的方式，形成入射到所述清洗对象物的表面的层状气流；以及

层状气流移动部，其使所述层状气流的入射位置追随所述清洗区域的相对移动而进行相对移动。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，所述清洗装置还具有：

保持部，其一体地保持所述清洗液喷射部和所述层状气流形成部；以及

移动部，其使所述保持部和所述旋转保持部中的至少一方移动，

所述清洗区域移动部和所述层状气流移动部由所述移动部构成。

3.根据权利要求1或2所述的清洗装置，其中，

所述清洗液喷射部的喷射口的中心轴相对于所述清洗区域的中心位置处的所述清洗对象物的表面的法线而朝向所述清洗区域的所述相对移动方向的相反侧倾斜。

4.根据权利要求3所述的清洗装置，其中，

所述层状气流的喷射方向相对于所述清洗区域的中心位置处的所述清洗对象物的表面的法线而朝向所述清洗区域的所述相对移动方向的相反侧倾斜，并且比所述清洗液喷射部的喷射口的中心轴的倾斜幅度大。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的清洗装置，所述清洗装置还具有：

倾斜运动保持部，其将所述清洗液喷射部以能够倾斜运动的方式进行保持；以及

倾斜运动控制部，其控制所述倾斜运动保持部的倾斜运动量，使得所述清洗液喷射部的喷射口的中心轴相对于所述清洗区域的中心位置处的所述清洗对象物的表面的法线的角度为固定角度。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的清洗装置，其中，

所述旋转保持部使所述清洗对象物的旋转中心轴相对于铅直轴倾斜来保持所述清洗对象物，

所述清洗对象物为光学元件，

所述清洗区域的相对移动方向被设定为沿着铅直面的方向，该铅直面包含所述光学元件的光轴。