[发明专利]用于测试光电器件的方法及装置有效
| 申请号: | 201280027190.5 | 申请日: | 2012-07-18 |
| 公开(公告)号: | CN103620294B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
| 发明(设计)人: | A·沃尔坦;G·切莱雷;G·梅内盖索;M·梅内吉尼;D·巴尔比桑;E·扎诺利 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号: | F21S8/00 | 分类号: | F21S8/00;H02S50/10 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
| 地址: | 意大利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 测试 光电 器件 方法 装置 | ||
技术领域
本发明大体上与用于测试光电器件的方法与装置有关。
背景技术
在光电器件的生产中,公知地会使用一些器件用以再生仿真太阳光谱的辐射以对物品实施必要的测试与检查以检验操作上的可靠性以及在实验室条件下光电器件的整体转换效率。
业界已发展出一套标准用以在以下三个性能领域定义太阳仿真器的性能:匹配太阳光谱的光谱频率、在被照射物体表面上的辐照度的空间均匀性、以及所产生光的量在时间上的稳定性。在传统的太阳仿真器中,广泛使用氙弧灯。然而,氙种类的灯具有一些缺点。例如,氙弧灯所产生的光在近红外光区域含有相当强的强度峰值,而在任何标准太阳光谱中都没有发现所述在近红外光区域中相当强的强度峰值。因此,氙弧灯要遭受输出光分布均匀性差以及辐照度效率低的问题,还要遭受由这种灯产生的光谱与太阳光谱之间的光谱准确性差的问题。
氙种类灯的其它缺点是:输出光光谱一般通过控制提供给此种灯的电流及电压而改变光的强度,从而加以调整。然而,修改这些参数通常会影响此种灯所产生的所有波长。因此,不可能选择且修改单一波长而使此种灯所产生的光的光谱在不同的应用上尽可能与太阳光谱相似。
氙类灯的另一个缺点是:此种灯的辐照度强度正常情况下不稳定且要遭受因(施加于不同灯的)电流变化所致的波动,电流的变化是因环境或电力条件改变所致。这种状况会影响此种灯所产生的输出光谱中的波动的量,且因此影响测试所得结果的可靠性与可重复性。
因此,在本领域中需要在任何给定的情况下改进太阳仿真器所产生的输出光谱的再生性与效率。
发明内容
在一个实施例中,一种装置包含光源器件以及基板支座,所述光源器件配置成再生具有与太阳辐射相类似光谱的光,所述光源器件包含辐射板,所述辐射板被划分成多个单元或区域,其中所述多个单元中的每一个包含多个发光二极管,所述多个发光二极管发射至少两种不同波长(颜色),所述基板支座设置成与所述光源器件相对。所述多个发光二极管中的每一个配置成发射一波长,所述波长选自由以下颜色组成的群组:蓝、绿、黄、红、在红外光区的至少第一与第二颜色,所述第一与所述第二颜色相对于彼此具有不同波长。
在另一个实施例中,提供一种用于测试光电器件的方法。所述方法包含以下步骤:提供光源器件以朝向光电器件发射至少两种不同波长,所述至少两种不同波长提供输出光谱,所述输出光谱仿真太阳辐射;检测由所述光源器件发射的所述输出光谱;将由所述光源器件所发射的所述输出光谱与待发射的预定光谱进行比较;以及修正所述光源器件的运行参数以消除介于所述光源器件所发射的输出光谱与所述待发射的预定光谱之间的变化。
附图说明
为了可以详细地理解本发明的上述特征,通过参考本发明的实施例(其中一些图示在附图中),可以对上文所简要概括的发明作更为具体的描述。然而,应注意的是,附图仅图示本发明的典型实施例且因此不应被视为对本发明范围的限制,因为本发明可允许其它同等有效的实施例。
图1根据本发明的一个实施例示意性地示出测试与检查器件,所述测试与检查器件使用用于再生太阳辐射的太阳仿真器。
图2根据本发明的一个实施例示出示例性太阳仿真器。
图3a与3b根据本发明的一个实施例示出存在于图2所示的太阳仿真器内的单元的可能配置。
图4a与4b根据本发明的一个实施例示出LED灯可能的配置。
图5根据本发明的另一个实施例示出辐射板被划分成三个不同区域。
为使更容易了解本发明,在可能的情况下,相同的组件符号会指定在不同图式中的相同组件。需了解的是,一些实施例的组件与特征可有益地合并于其它实施例中而无须进一步记载。
具体实施方式
在此讨论的实施例与用于封闭环境中的光源器件相关,所述封闭环境诸如实验室或测试腔室,所述光源器件用于再生或仿真太阳辐射的光谱且具有测试/检查光电器件或其它相当器件的目的。在本发明的不同实施例中,光源器件可包含至少一个基于半导体的光源,诸如发光二极管(LED)。可设想使用任何其它基于半导体的光源,例如激光二极管(LD)。在本发明的环境中,术语“LED灯”可指单一密封结构(LED芯片可位于所述结构)或多密封单元,所述多密封单元以任何所期望的图案被结合于所述单一密封结构上。
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