[发明专利]用于测试光电器件的方法及装置有效
| 申请号: | 201280027190.5 | 申请日: | 2012-07-18 |
| 公开(公告)号: | CN103620294B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
| 发明(设计)人: | A·沃尔坦;G·切莱雷;G·梅内盖索;M·梅内吉尼;D·巴尔比桑;E·扎诺利 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号: | F21S8/00 | 分类号: | F21S8/00;H02S50/10 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
| 地址: | 意大利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 测试 光电 器件 方法 装置 | ||
1.一种装置,包含:
光源器件,所述光源器件配置成再生太阳辐射的光谱,所述光源器件包含辐射板,所述辐射板被划分成多个单元,且所述多个单元中的每一个包含多个发光二极管,所述多个发光二极管发射至少两种不同波长;
基板支座,所述基板支座设置成与所述光源器件相对;
一个或更多个传感器,所述传感器设置为接近所述基板支座以检测所述辐射板所发射出的辐射;以及
控制系统,所述控制系统与所述一个或更多个传感器相连接且所述控制系统适于接收与所述光谱相关联的信息,所述光谱实际上由所述辐射板随时间发射出,且所述控制系统调整发射参数以至少将波动最小化且在空间上使所述发射的辐射均匀化。
2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述辐射板的所述多个单元中的每一个至少在所述多个单元的所述发光二极管的所述发射参数中被独立地控制。
3.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述至少两种不同波长在太阳辐射的整个发射光谱上进行选择。
4.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述多个发光二极管发射一波长,所述波长选自由以下颜色组成的群组:蓝、绿、黄、红、在红外光区的至少第一颜色与第二颜色,所述第一颜色与所述第二颜色相对于彼此具有不同波长。
5.如权利要求4所述的装置,其特征在于,在红外光区的所述第一颜色与所述第二颜色具有在从约0.7μm至约1,000μm范围内的波长。
6.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置还包含:
一个或更多个光学透镜,所述光学透镜设置在所述光源器件与所述基板支座之间。
7.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述一个或更多个传感器设置在所述基材支座的每一侧上。
8.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述一个或更多个传感器包含基于半导体的光电二极管。
9.一种用于测试光电器件的方法,所述方法包含以下步骤:
提供光源器件以向光电器件发射至少两种不同波长,其中所述至少两种不同波长提供输出光谱,所述输出光谱仿真太阳辐射的光谱;
检测由所述光源器件所发射的所述输出光谱;
将由所述光源器件所发射的所述输出光谱与待发射的预定光谱进行比较;以及
修正所述光源器件的运行参数以消除所述输出光谱与所述待发射预定光谱之间的变化,所述输出光谱由所述光源器件发射。
10.如权利要求9所述的方法,其特征在于,所述至少两种不同波长在太阳辐射的整个发射光谱上进行选择。
11.如权利要求9所述的方法,其特征在于,所述光源器件包含辐射板,所述辐射板被划分成多个单元,且其中每一个单元包含多个发光二极管。
12.如权利要求11所述的方法,其特征在于,所述多个发光二极管发射一波长,所述波长选自由下列颜色所组成的群组:蓝、绿、黄、红、在红外光区的至少第一颜色与第二颜色,所述第一颜色与所述第二颜色相对于彼此具有不同波长。
13.如权利要求9所述的方法,其特征在于,所述修正光源器件的运行参数的步骤包含以下步骤:
禁用发光二极管,所述发光二极管位于所述辐射板的中心区域。
14.如权利要求9所述的方法,其特征在于,所述修正光源器件的运行参数的步骤包含以下步骤:
禁用发光二极管,所述发光二极管位于所述辐射板的周围区域。
15.如权利要求9所述的方法,其特征在于,所述检测由光源器件所发射的输出光谱的步骤通过一个或更多个传感器来执行,所述传感器设置为接近于所述光电器件。
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