[发明专利]成像光学单元

权利要求书

1.一种用于将物场（4）成像至像场（8）中的成像光学单元（7；17；28；50；53；56；59），

-其中，位于所述物场（4）和所述像场（8）之间的成像光路（27；AS）被细分为多个部分成像光路（22，23；TAS），

-其中，所述成像光学单元（7；17；28；50；53；56；59）实施为使得所述部分成像光路（22，23；TAS）以彼此完全分离且由所述成像光学单元（7；17；28；50；53；56；59）的光学组件（18，19；M1至M6；G1，M1至M6）引导的方式在所述物场（4）和所述像场（8）之间延伸，即，在所述物场（4）和所述像场（8）之间的光路中的任何位置，所述部分成像光路（22，23；TAS）都不会照在所述成像光学单元（7；17；28；50；53；56；59）的光束引导表面（20）的相同区域上。

2.根据权利要求1所述的成像光学单元，其特征在于引导所述部分成像光路（22，23；TAS）的部分光学单元（29，30；51，52；54，55；57，58）的至少两个相互分离的部分光瞳（33至36；41至49）。

3.根据权利要求1或2所述的成像光学单元，其特征在于，所述成像光学单元的引导所述部分成像光路（TAS）的所述部分光学单元（29，30；51，52；54，55；57，58）的所述部分光瞳（33至36；41至49）以关于中心光轴（oA）的多重对称性布置在所述成像光学单元的光瞳（32；40）中，所述中心光轴（oA）垂直于所述光瞳（32；40）延伸。

4.根据权利要求3所述的成像光学单元，其特征在于，所述部分光学单元（29，30；51，52；54，55；57，58）布置为具有关于所述光轴（oA）的多重对称性。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的成像光学单元，其特征在于，所述成像光学单元的光学组件（18，19；M1至M6）通过关于镜像对称平面（SE）镜像而相互转换，所述光轴（oA）在该镜像对称平面中延伸。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的成像光学单元，其特征在于，两个部分光学单元（18，19；29，30；51，52）的光学组件（18，19；M1至M6）各自分别完全布置在两个半空间（38，39）中的一个中，这两个半空间通过半空间分离平面（HT）而彼此分离，所述光轴（oA）在所述半空间分离平面中延伸。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的成像光学单元，其特征在于，所述部分光学单元（53，54；57，58）中的至少一个的光学组件（M1至M6；GI，M1至M6）以分布方式布置在两个半空间（38，39）中，这两个半空间通过所述半空间分离平面（HT）而彼此分离。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的成像光学单元，其特征在于，在物方，所述成像光学单元（56）的至少两个部分光学单元（57，58）的部分成像光路（TAS）具有主光线（HS1，HS2），

-所述主光线来自中心物场点，

-所述主光线在垂直于半空间分离平面（HT）延伸的子午平面（yz）中行进，

-所述主光线在相同的半空间（38）中行进。

9.根据权利要求2至8中任一项所述的成像光学单元，其特征在于，所述部分光学单元（29，30；51，52；54，55；57，58）中的至少一个具有0.2的像方数值孔径。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的成像光学单元，其特征在于，所述成像光学单元实施为反射式光学单元。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的成像光学单元，其特征在于，所述光学组件（60）中的至少一个实施为一体式，并具有至少两个相互分离的光束引导区域（61，62），用于引导相应的部分成像光路（TAS）。

12.一种光学系统，

-包含用于照明所述物场（4）的照明光学单元（6），

-包含根据权利要求1至11中任一项所述的成像光学单元。

13.一种投射曝光设备（1），

-包含根据权利要求12所述的光学系统，

-包含光源（2），

-包含物保持器（11），

-包含像保持器（13）。