[发明专利]吸引卡盘、以及具备该吸引卡盘的工件的移载装置

说明书

技术领域

本发明主要涉及吸引薄的平板状的工件并对其以非接触的状态进行保持的吸引卡盘。

背景技术

为了移载太阳能电池晶片、燃料电池单元或二次电池的电极或者隔离物等薄的平板状的工件（薄板工件），以往提出了作为末端执行器而采用利用了伯努利效应的伯努利卡盘的移载装置（例如，参照专利文献1）。

本申请的申请人提出例如专利文献2所公开的并联机构机器人作为移载装置的移载机构，并且，提出专利文献3所公开的伯努利卡盘作为吸引卡盘。

对于伯努利卡盘而言，在其构造上无法避免所吸引的薄板工件上下振动，但在薄板工件的吸附动作时或放下时，如果伯努利卡盘的尺寸比工件小，则振动的薄板工件与伯努利卡盘的外边缘（边缘）接触，有时会导致工件的损伤、性能劣化。

特别是上述的并联机构是使用三条臂来使末端执行器高速地移动的结构，为了发挥其特征，作为末端执行器而被采用的伯努利卡盘也必须是轻型的卡盘。作为用于实现这样的轻型化的伯努利卡盘的构造，以专利文献4～6为代表提出了多种构造。

专利文献1：日本特许第3981241号公报

专利文献2：日本再表2008-59659号公报

专利文献3：日本特许第4538849号公报

专利文献4：日本特开2007-324442号公报

专利文献5：日本特开2008-119758号公报

专利文献6：日本特开2005-74606号公报

发明内容

本发明是鉴于以上的情况而完成的，其主要目的在于提供轻型并且在吸附时与放开时薄板工件不与卡盘的边缘接触的吸引卡盘。

本发明要解决的课题如上所述，以下对用于解决该课题的方法和其效果进行说明。

根据本发明的第一观点，提供以下结构的吸引卡盘。即，该吸引卡盘吸引薄的平板状的工件并以非接触状态保持该工件。该吸引卡盘具备平板状的主体和对置面。在上述主体的内部形成有压缩气体的流路。上述对置面是上述主体在与上述工件对置的一侧具备的面，且形成有多个通过喷出上述压缩气体而产生负压的作为吸引元件的凹部。在与上述对置面垂直的方向观察时，该对置面以能够完全地包含上述工件的形状的方式构成为与上述工件相似的形状或者比上述工件的形状向外侧偏移的形状。在与上述对置面垂直的方向观察时，全部的上述凹部都以能够包含于上述工件的形状的方式配置。

由此，能够很好地防止工件与对置面的外缘、凹部的边缘碰触而破损的情况。另外，能够高效地发挥凹部的吸引作用，稳定地保持工件。而且，由于通过形成于对置面的凹部进行吸引作用，所以容易实现轻型化以及小型化。

在上述的吸引卡盘中，优选在与上述对置面垂直的方向观察时，该对置面的形状以及上述工件的形状是直角四边形。

由此，能够无破损且平稳地保持广泛使用的形状即直角四边形的工件。

在上述的吸引卡盘中，优选以下的结构。即，在上述凹部的周围，在上述对置面上开设有用于将从该凹部喷出的压缩气体排出的排气孔。在与上述对置面垂直的方向观察时，全部的上述排气孔都以能够包含于上述工件的形状的方式配置。

由此，能够高效地发挥凹部的吸引作用。另外，能够以更少的流量实现同等的吸引力，从而也适用于在必须抑制流量的净化室环境下的使用。而且，能够很好地防止工件与排气孔的缘碰触而破损的情况。

在上述的吸引卡盘中，优选在与上述对置面垂直的方向观察时，多个上述凹部以与上述对置面的形状所具有的边平行的方式排列。

由此，能够相对于工件均匀地发挥凹部的吸引作用，所以能够实现工件的稳定的保持。

在上述的吸引卡盘中，优选以下的结构。即，上述凹部形成为圆筒状。上述主体具备喷出流路，其使压缩气体以沿着该凹部的内壁的方向喷出。

由此，能够通过简单的结构在凹部的内部形成良好的回旋流。

在上述的吸引卡盘中，优选上述喷出流路沿着与上述对置面平行的方向形成。

由此，能够实现流路构造的简单化以及小型化。

在上述的吸引卡盘中，优选相对于一个上述凹部形成有多条上述喷出流路。

由此，能够在凹部中形成强力且稳定的回旋流。