[发明专利]吸引卡盘、以及具备该吸引卡盘的工件的移载装置

权利要求书

1.一种吸引卡盘，其吸引薄的平板状的工件并以非接触状态保持该工件，该吸引卡盘的特征在于，具备：

平板状的主体，在该主体的内部形成有压缩气体的流路；和

对置面，该对置面是所述主体在与所述工件对置的一侧所具备的面，且形成有多个通过喷出所述压缩气体而产生负压的作为吸引元件的凹部，

在与所述对置面垂直的方向观察时，该对置面以能够完全地包含所述工件的形状的方式构成为与所述工件相似的形状或者比所述工件的形状向外侧偏移的形状，

在与所述对置面垂直的方向观察时，全部的所述凹部都以能够包含于所述工件的形状的方式配置。

2.根据权利要求1所述的吸引卡盘，其特征在于，

在与所述对置面垂直的方向观察时，该对置面的形状以及所述工件的形状是直角四边形。

3.根据权利要求1所述的吸引卡盘，其特征在于，

在所述凹部的周围，在所述对置面上开设有用于将从该凹部喷出的压缩气体排出的排气孔，

在与所述对置面垂直的方向观察时，全部的所述排气孔都以能够包含于所述工件的形状的方式配置。

4.根据权利要求1所述的吸引卡盘，其特征在于，

在与所述对置面垂直的方向观察时，多个所述凹部以与所述对置面的形状所具有的边平行的方式排列。

5.根据权利要求1所述的吸引卡盘，其特征在于，

所述凹部形成为圆筒状，

所述主体具备喷出流路，该喷出流路使压缩气体以沿着该凹部的内壁的方向喷出。

6.根据权利要求5所述的吸引卡盘，其特征在于，

所述喷出流路沿着与所述对置面平行的方向形成。

7.根据权利要求5所述的吸引卡盘，其特征在于，

相对于一个所述凹部形成有多条所述喷出流路。

8.根据权利要求5所述的吸引卡盘，其特征在于，

所述主体通过将包括形成有所述对置面的第一板和连接于所述压缩气体的供给源即压缩气体源的第二板在内的多张板在厚度方向上接合而构成，

在所述第一板的所述对置面开设开口孔,该开口孔形成所述凹部的至少一部分，

所述喷出流路配置于所述对置面与所述第二板之间的位置，

在所述第二板上，在与所述第一板相反的一侧配置与所述压缩气体源连接的连接口，并且，在朝向所述第一板侧的面形成构成供给流路的供给槽，该供给流路用于将被导入所述连接口的压缩气体向所述喷出流路引导。

9.根据权利要求8所述的吸引卡盘，其特征在于，

在所述第一板与所述第二板之间配置中间板，

在所述中间板以沿厚度方向贯通该中间板的方式形成有构成所述喷出流路的狭缝。

10.根据权利要求8所述的吸引卡盘，其特征在于，

在所述第一板与所述第二板之间配置第三板，

在所述第三板形成用于将所述喷出流路与所述供给槽连接的连接孔，

所述第三板的厚度方向一侧的面构成所述喷出流路的内壁的一部分，

所述第三板的厚度方向另一侧的面将所述供给槽的敞开侧封闭从而构成所述供给流路。

11.根据权利要求8所述的吸引卡盘，其特征在于，

至少具有一条与多条所述喷出流路连接的所述供给流路。

12.根据权利要求8所述的吸引卡盘，其特征在于，

具备多条所述供给流路，

由通过各所述供给流路而连接的所述连接口与所述喷出流路所构成的组合相互独立。

13.根据权利要求8所述的吸引卡盘，其特征在于，

所述多张板都是金属制，且通过将该多张板以全部重叠的状态进行扩散接合而构成所述主体。

14.根据权利要求13所述的吸引卡盘，其特征在于，

所述多张板由从不锈钢、铝合金或者钛合金选择出的材料形成。

15.根据权利要求13所述的吸引卡盘，其特征在于，

所述多张板全部由相同的金属材料形成。

16.根据权利要求13所述的吸引卡盘，其特征在于，

所述凹部以及所述喷出流路中的至少一方通过蚀刻而形成。