[发明专利]基板涂布方法、基板涂布装置以及使用了该方法的有机电致发光器件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及在基板上涂布涂布液的基板涂布方法、基板涂布装置以及使用了该方法的有机电致发光器件的制造方法。 

背景技术

电致发光（EL）器件是通过在透明基板上形成用阳极和阴极夹持的发光层而得到的，当对电极间施加电压时，发光层中作为载流子注入的电子及空穴发生再结合，由此生成激子，利用该激子进行发光。电致发光器件大致可分为发光层的荧光物质使用了有机物的有机电致发光器件和发光层的荧光物质使用了无机物的无机电致发光器件。特别是，有机电致发光器件能在低电压下进行高亮度的发光，并且根据荧光物质的种类可获得各种发光颜色，另外容易制成平面状的发光面板，因此被用作各种显示装置和背光源。此外，近年来还实现了满足高亮度的有机电致发光元件，其在照明器材中的应用备受关注。 

图12表示了常规的有机电致发光器件的剖面构成。有机电致发光器件101在具有透光性的基板70上设置具有透光性的阳极层111，在该阳极层111之上设置由空穴注入层121、空穴输送层122和发光层123形成的有机层120。另外，在有机层120上设置具有光反射性的阴极层112。并且，通过对阳极层111与阴极层112之间施加电压，有机层120的发光层123发出的光透过阳极层111和基板70而被取出。另外，在阳极层111与有机层120之间，有时形成包含用于提高光取出效率的具有光扩散性的微粒子的层（未图示）。 

在这样的有机电致发光器件101中，有机层120在阳极层111上如果不以遮掩上述微粒子的方式成膜，则阳极层111和阴极层112接近而有时会在电极间发生短路，存在使设备的可靠性降低等危险。因此，已知有通过 涂布来在阳极层111上形成有机层120的方法。通过涂布，在对构成有机层120的有机材料进行涂布和干燥的工序中，上述微粒子被有机材料所覆盖或者以有机材料渗入微粒子与基板70的间隙中的状态固化，从而作为绝缘层起作用，因此能够抑制短路的发生。 

作为这样的通过涂布形成有机溶剂的方法，已知有利用狭缝式涂布法、旋涂法、喷墨法、丝网印刷法等形成有机层的有机电致发光器件的制造方法（例如参照专利文献1）。狭缝式涂布法为如下的方法：首先，在喷嘴的喷出口的对面配置基板，使喷嘴与基板接近，所述喷嘴形成有在平行面上设置了数十微米的间隙的狭缝状的开口部。然后，保持使从喷嘴喷出的涂布液与基板接触的状态，水平移动基板，从而在基板上涂布涂布液。该狭缝式涂布法与被称为蒸镀的用于形成有机层的其他方法相比，能够在短时间内以高材料使用效率形成有机层。 

另外，对于利用狭缝式涂布法进行的涂布而言，在不空开时间而连续地实施涂布时，喷嘴内的涂布液依次被替换成新的涂布液，并且来自喷嘴的喷出量被保持为固定值，从而能够形成均匀膜厚的有机层。但是，在实际的有机电致发光器件的制造中，除了利用狭缝式涂布法进行的涂布以外，例如还包括利用蒸镀形成其他层的工序等，这些其他工序的处理时间通常比利用了狭缝式涂布法的涂布工序更长。因此，在利用狭缝式涂布法进行的涂布工序中，每形成规定数目的有机层，就需要适当设定待机时间。 

但是，在该待机时间中，或者涂布液会干燥从而粘度变化，或者涂布液会在喷嘴口与外部气体接触而发生氧化从而粘度、浓度、成分变化，有时会产生液体劣化。这样的话，当经过待机时间后再次开始涂布时，喷出量容易变得不稳定，存在所形成的有机层的膜厚变得不均匀的危险。另外，在待机时间中涂布液会发生氧化而成分发生变性，从而电荷迁移率等电气特性会发生变化，存在有机电致发光器件的发光特性产生偏差的危险。因此，在上述专利文献1所述的制造方法中，在该待机时间中，设为使喷嘴与基板在涂布液的液面接合的状态，由此防止喷嘴中的涂布液干燥。 

现有技术文献 

专利文献 

专利文献1：国际公开WO10/146998号小册子 

发明内容

发明所要解决的问题 

然而，如果这样在液面接合的状态下长时间待机，则液面本身被气氛气所污染，结果会存在喷嘴内部的涂布液被污染的危险。另外，当以静止状态放置涂布液中的有机材料时，与喷嘴内壁接触的涂布液就会析出在喷嘴周缘上，结果会存在喷出量不均、得不到膜厚的均匀性的危险。然而，在不使喷嘴与基板在涂布液的液面接合的情况下，喷嘴中的涂布液干燥，喷嘴的喷出口堵塞，不能进行稳定的涂布。 

本发明是用于解决上述问题的发明，其目的在于，提供能够对因狭缝式喷嘴内的涂布液的干燥和氧化等造成的液体劣化进行抑制的基板涂布方法、基板涂布装置以及使用了该方法的有机电致发光器件的制造方法。 

用于解决问题的手段