[发明专利]真空泵及其转子

说明书

技术领域

本发明例如涉及一种半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中作为处理腔室或其它密闭腔室的气体排气单元加以利用的真空泵及其转子。

背景技术

以往，作为这种真空泵，公知的有例如专利文献1的螺纹槽式真空泵或专利文献2的真空泵。这些真空泵均具有圆柱或者圆筒状的旋转部件和包围在该旋转部件的外周的固定部件。

并且在专利文献1的螺纹槽式真空泵中，采用了通过在旋转部件的外周面上形成螺纹槽，而在旋转部件与固定部件之间形成螺纹泵流路的结构，以及由于旋转部件的旋转，通过其螺纹泵流路排出气体的结构，而且，在专利文献2的真空泵中，通过在固定部件的内周面上形成螺纹槽，而在旋转部件与固定部件之间形成螺纹泵流路的结构，以及由于旋转部件的旋转，通过其螺纹泵流路排出气体的结构。

但是，在先前所说明的专利文献1或专利文献2这种构造的真空泵中，可知若旋转部件与固定部件之间的间隙大，则泵性能显著降低这一现象。

因此，在上述构造的真空泵中，通过考虑伴随于旋转的离心力、热膨胀、蠕变现象等产生的旋转部件的形状变形、及旋转部件与固定部件的零件制造上的离散等，将设在旋转部件与固定部件之间的间隙设定成其两部件不接触而能够安全运行的最小限度的间隙，防止了泵性能的降低。

特别是，作为上述这种设定最小限度的间隙的手段，在专利文献1中，是通过用软质材料形成固定部件的内周，使由该软质材料构成的固定部件的内周在最初的泵运行时与旋转部件接触，削除干涉部分而制成最小限度的间隙。而且，在专利文献2中，使旋转部件的外周面与固定部件的内周面为锥形，在异常时通过使固定部件在泵的轴向上移动，能够防止旋转部件与固定部件的接触。

但是，在以专利文献1的这种方式设定最小限度的间隙的情况下，由于最初的运行时通过与旋转部件的接触而削除固定部件的内周，所以破坏了在固定部件的内周或旋转部件的外周施加的耐腐蚀涂层，存在泵内部的耐腐蚀性恶化的问题。而且，在以专利文献2的这种方式设定最小限度的间隙的情况下，由于需要使固定部件在泵的轴向上移动的移动机构，所以存在真空泵的构造复杂的问题。

专利文献1：日本国特开昭63-75389号公报。

专利文献2：日本国实开平5-36094号公报。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提到的，其目的在于提供一种真空泵及其转子，不会导致泵内部的耐腐蚀性恶化及泵构造的复杂化，能够将设在旋转的圆筒部件与包围在其外周的固定部件之间的间隙设定在最小限度，谋求该间隙的最小限度化而实现的泵性能的提高。

为了实现上述目的，本发明所涉及的真空泵具备：圆形部件，驱动上述圆形部件绕其中心旋转的驱动单元，与上述圆形部件的外周接合的圆筒部件，包围在上述圆筒部件的外周的固定部件，以及形成在上述圆筒部件与上述固定部件之间的螺纹泵流路，由于上述圆形部件以及上述圆筒部件的旋转，通过上述螺纹泵流路排出气体，其特征在于，上述圆筒部件是，由具有热膨胀比上述圆形部件小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成，使上述圆筒部件上的非接合部与上述固定部件之间的第2区域的间隙小于上述圆筒部件上的接合部与上述固定部件之间的第1区域的间隙。

在上述本发明所涉及的真空泵中，也可以采用上述第1区域的间隙与上述第2区域的间隙的边界的间隙是，随着从上述接合部朝向上述非接合部的方向离开而逐渐减小成为锥形的结构。这在后述的本发明所涉及的真空泵的转子中也同样。

在上述本发明所涉及的真空泵中，也可以采用在使沿着上述圆筒部件的轴线的长度为上述锥形的轴向长度的情况下，上述边界的间隙的上述锥形的上述轴向长度为上述圆筒部件的壁厚的3倍以上的结构。这在后述的本发明所涉及的真空泵的转子中也同样。

在上述本发明所涉及的真空泵中，也可以采用上述圆筒部件上的上述接合部设在上述螺纹泵流路的上游一侧的结构。这在后述的本发明所涉及的真空泵的转子中也同样。

本发明所涉及的真空泵的转子为具备被驱动而旋转的圆形部件和与其外周接合的圆筒部件，并且在上述圆筒部件与包围在其外周的固定部件之间形成螺纹泵流路的真空泵的转子，其特征在于，上述圆筒部件是，由具有热膨胀比上述圆形部件小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成，使上述圆筒部件上的非接合部与上述固定部件之间的第2区域的间隙小于上述圆筒部件上的接合部与上述固定部件之间的第1区域的间隙。