[发明专利]真空泵及其转子

权利要求书

1.一种真空泵，具备：圆形部件，驱动上述圆形部件绕其中心旋转的驱动单元，与上述圆形部件的外周接合的圆筒部件，包围在上述圆筒部件的外周的固定部件，以及形成在上述圆筒部件与上述固定部件之间的螺纹泵流路，由于上述圆形部件以及上述圆筒部件的旋转，通过上述螺纹泵流路排出气体，其特征在于，

上述圆筒部件是，由具有热膨胀比上述圆形部件小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成，

使上述圆筒部件上的非接合部与上述固定部件之间的第2区域的间隙小于上述圆筒部件上的接合部与上述固定部件之间的第1区域的间隙。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述第1区域的间隙与上述第2区域的间隙的边界的间隙是，随着从上述接合部朝向上述非接合部的方向离开而逐渐减小成为锥形。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，在使沿着上述圆筒部件的轴线的长度为上述锥形的轴向长度的情况下，上述边界的间隙的上述锥形的上述轴向长度为上述圆筒部件的壁厚的3倍以上。

4.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，上述圆筒部件上的上述接合部设在上述螺纹泵流路的上游一侧。

5.一种转子，具备被驱动而旋转的圆形部件和与其外周接合的圆筒部件，用于真空泵中，其特征在于，

上述圆筒部件是，由具有热膨胀比上述圆形部件小的材料、或者蠕变速度比上述圆形部件低的材料之中的至少一方的特征的材料来形成，

通过上述转子组装在上述真空泵内，在上述转子的上述圆筒部件与包围在其外周的固定部件之间形成螺纹泵流路，使上述圆筒部件上的非接合部与上述固定部件之间的第2区域的间隙小于上述圆筒部件上的接合部与上述固定部件之间的第1区域的间隙。