[发明专利]用于制备含氢氯硅烷的复合方法

权利要求书

1.用于以复合方法(1)制备含有至少一种含氢氯硅烷的产物气体混合物(12)的方法，通过在包含一个或多个反应室的氢化反应器(11)中用氢气(10,15)至少将原料四氯化硅(5,14)和甲基三氯硅烷(8,14)氢化(11)来进行，其中该方法另外包括通过分离出至少一种产物的至少一部分而对该产物气体混合物(12)进行后处理(13)和使用任选多种分离产物的至少一种的至少一部分在复合方法(1)中作为原料(14,15)用于氢化反应(11)或作为原料(17,18)用于至少一种其它过程(2,3,6)，其特征在于，所述氢化反应器(11)在压力下运行并且所述一个或多个反应室分别由气密性陶瓷材料的反应器管组成。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于，所述产物气体混合物(12)除了至少一种含氢氯硅烷(14,18,19,20)之外还至少包含HCl(17)和甲烷(16)。

3.根据权利要求1或2的方法，其特征在于，所述产物气体混合物(12)含有选自HCl(17)、甲烷(16)、氢气(15)、二氯硅烷(19)、三氯硅烷(18,19)、四氯化硅(14)、甲基二氯硅烷(20)和甲基三氯硅烷(14)的至少三种或全部产物。

4.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，复合方法(1)中的所述至少一种其它过程包括至少一种选自如下的过程：硅的氢氯化反应的过程(2)、由气相沉积硅的过程(3)和实施Müller-Rochow合成的过程(6)。

5.根据权利要求4的方法，其特征在于，用作氢化反应(11)的原料的STC(5)和/或MTCS(8)的至少一部分是至少一种所述其它过程(2,3,6)的副产物。

6.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，通过产物气体混合物(12)后处理(13)得到的HCl(17)至少部分地作为原料用于复合方法(1)中硅的氢氯化反应的过程(2)。

7.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，通过产物气体混合物(12)后处理(13)得到的四氯化硅和/或甲基三氯硅烷至少部分地作为原料(14)用于氢化反应(11)。

8.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，通过产物气体混合物(12)后处理(13)得到的氢气(15)至少部分地作为原料用于氢化反应(11)。

9.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，通过产物气体混合物(12)后处理(13)得到的甲烷(16)至少部分地作为燃料用于加热氢化反应器(11)。

10.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，通过产物气体混合物(12)后处理(13)得到的三氯硅烷至少部分地作为原料(18)用于复合方法(1)中由气相沉积硅的过程(3)和/或至少部分地从复合方法(1)中作为产物(19)抽出用于进一步用途。

11.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，通过产物气体混合物(12)后处理(13)得到的高沸物至少部分地作为原料(17)用于复合方法(1)中硅的氢氯化反应过程(2)和/或至少部分地从复合方法(1)中作为产物(21)抽出用于进一步用途。

12.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，通过产物气体混合物(12)后处理(13)得到的二氯硅烷至少部分地从复合方法(1)中作为产物(19)抽出用于进一步用途。

13.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，通过产物气体混合物(12)后处理(13)得到的甲基二氯硅烷至少部分地从复合方法(1)中作为产物(20)抽出用于进一步用途。

14.根据前述权利要求任一项的方法，其特征在于，在产物气体混合物(12)的后处理(13)过程中至少通过如下的步骤将氢气(15)分离出来：

-  冷却(22)该产物气体混合物(12)，

-  使该产物气体混合物(12)的未冷凝和含H₂的成分(23)与吸收介质(25)接触，

-  使未被吸收的成分(26)与吸附有机化合物(16)的吸附介质接触(27)，和

-  抽出未吸附的氢气(15)。