[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法、有机EL元件和有机EL显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀装置和蒸镀方法。此外，本发明涉及具备利用蒸镀形成的发光层的有机EL(Electro Luminescence：电致发光)元件和有机EL显示装置。

背景技术

近年来，在各种商品和领域中平板显示器得到广泛应用，需求平板显示器的进一步的大型化、高画质化、低消耗电力化。

在这样的状况下，具备利用有机材料的电致发光(Electro Luminescence)的有机EL元件的有机EL显示装置，作为全固体型且在能够低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器而备受瞩目。

例如在有源矩阵方式的有机EL显示装置中，在设置有TFT(薄膜晶体管)的基板上设置薄膜状的有机EL元件。在有机EL元件中，在一对电极之间叠层包括发光层的有机EL层。在一对电极中的一个电极上连接有TFT。于是，通过向一对电极间施加电压使发光层发光来进行图像显示。

在全彩色的有机EL显示装置中，通常在基板上作为子像素排列形成有具备红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)各种颜色的发光层的有机EL元件。通过使用TFT使这些有机EL元件有选择地按所期望的亮度发光来进行彩色图像显示。

为了制造有机EL显示装置，需要在每个有机EL元件中以规定图案形成包括发出各种颜色的光的有机发光材料的发光层。

作为以规定图案形成发光层的方法，例如已知有真空蒸镀法、喷墨法、激光转印法。例如，在低分子型有机EL显示装置(OLED)中，大多使用真空蒸镀法。

在真空蒸镀法中，使用形成有规定图案的开口的掩模(也称为荫罩)。使紧密固定有掩模的基板的被蒸镀面与蒸镀源相对。然后，使来自蒸镀源的蒸镀颗粒(成膜材料)通过掩模的开口蒸镀在被蒸镀面，由此形成规定图案的覆膜。蒸镀按发光层的每种颜色进行(将这称为“分涂蒸镀”)。

在专利文献1中记载了如下的蒸镀装置：其配置有分别具备狭缝状吐出口的多个线状蒸镀源，使得吐出口的长度方向彼此平行，在相邻的线状蒸镀源间设置有用于防止蒸镀材料混合的限制板。相对于多个线状蒸镀源，在与其吐出口的长度方向正交的方向上使密合有蒸镀掩模的基板移动。多个线状蒸镀源例如包括分别放出有机空穴注入材料、有机空穴输送材料、有机发光材料的三个线状蒸镀源。由此，能够通过蒸镀掩模的掩模开口，在基板上依次形成空穴注入层、空穴输送层、发光层。

另一方面，在有机EL元件中，为了得到所期望的发光颜色，或者为了提高发光效率等，已知使用在称为“主体”的母体材料中添加称为“掺杂剂”的添加材料的掺杂法形成发光层的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-170200号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在上述专利文献1中记载的蒸镀装置中，多个线状蒸镀源彼此被限制板分隔，因此使主体和掺杂剂从不同的线状蒸镀源放出，不能在基板上形成两者混合而成的发光层。

本发明的目的在于提供能够适合在利用分涂蒸镀形成使用掺杂法的发光层时使用的蒸镀装置。

此外，本发明的目的在于提供使用这样的蒸镀装置的蒸镀方法。

进一步，本发明的目的在于提供具备在主体中分散含有掺杂剂的发光层的有机EL元件和有机EL显示装置。

用于解决问题的手段

本发明的蒸镀装置是通过形成有掩模开口的蒸镀掩模，在基板上形成与上述掩模开口的开口形状对应的图案的覆膜的蒸镀装置，上述蒸镀装置包括：

蒸镀单元，其具备蒸镀源和限制板单元，该蒸镀源具备至少一个第一蒸镀源开口和至少一个第二蒸镀源开口，该限制板单元形成有从上述至少一个第一蒸镀源开口放出的第一蒸镀颗粒通过的至少一个第一限制开口和从上述至少一个第二蒸镀源开口放出的第二蒸镀颗粒通过的至少一个第二限制开口；和

移动机构，其使上述基板和上述蒸镀单元中的一方相对于另一方沿着与上述基板的法线方向正交的第一方向相对地移动。

上述至少一个第一蒸镀源开口和上述至少一个第二蒸镀源开口配置在上述第一方向的不同位置。

上述至少一个第一限制开口和上述至少一个第二限制开口配置在上述第一方向的不同位置。