[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法、有机EL元件和有机EL显示装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其是通过形成有掩模开口的蒸镀掩模、在基板上形成与所述掩模开口的开口形状对应的图案的覆膜的蒸镀装置，所述蒸镀装置的特征在于，包括：

蒸镀单元，其具备蒸镀源和限制板单元，该蒸镀源具备至少一个第一蒸镀源开口和至少一个第二蒸镀源开口，该限制板单元形成有从所述至少一个第一蒸镀源开口放出的第一蒸镀颗粒通过的至少一个第一限制开口、和从所述至少一个第二蒸镀源开口放出的第二蒸镀颗粒通过的至少一个第二限制开口；和

移动机构，其使所述基板和所述蒸镀单元中的一方沿着与所述基板的法线方向正交的第一方向相对于另一方相对地移动，

所述至少一个第一蒸镀源开口和所述至少一个第二蒸镀源开口配置在所述第一方向的不同位置，

所述至少一个第一限制开口和所述至少一个第二限制开口配置在所述第一方向的不同位置，

所述限制板单元限制朝向所述基板行进的所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒在所述第一方向上的指向性，使得将假定没有所述蒸镀掩模的情况下所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒附着的所述基板上的区域分别设为第一区域和第二区域时，沿着与所述第一方向和所述基板的法线方向正交的第二方向观察时所述第二区域被包括在所述第一区域中。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元限制朝向所述基板行进的所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒在所述第一方向上的指向性，使得所述第一区域和所述第二区域在所述第一方向上的位置一致。

3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元限制朝向所述基板行进的所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒在所述第一方向上的指向性，使得在所述第一方向上所述第一区域超出所述第二区域。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述至少一个第一蒸镀源开口和所述至少一个第二蒸镀源开口中的至少一方以其开口方向朝向对方侧的方式倾斜。

5.如权利要求1～4中的任一项所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述至少一个第一蒸镀源开口和所述至少一个第二蒸镀源开口设置于共同的蒸镀源。

6.如权利要求1～5中的任一项所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述至少一个第一限制开口和所述至少一个第二限制开口形成于共同的限制板单元。

7.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元在所述第一方向上相邻的所述至少一个第一限制开口与所述至少一个第二限制开口之间具备分隔壁板，

所述分隔壁板的所述基板一侧的面与所述限制板单元的除了所述分隔壁板以外的部分的所述基板一侧的面相比，配置在远离所述基板的位置。

8.如权利要求1～5中的任一项所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元具备彼此独立的、形成有所述至少一个第一限制开口的第一限制板单元和形成有所述至少一个第二限制开口的第二限制板单元。

9.如权利要求1～8中的任一项所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元形成有所述第一蒸镀颗粒通过的多个第一限制开口和所述第二蒸镀颗粒通过的多个第二限制开口，

所述多个第一限制开口在所述第二方向由多个第一限制板划分，

所述多个第二限制开口在所述第二方向由多个第二限制板划分，

所述多个第一限制板限制向所述掩模开口入射的所述第一蒸镀颗粒在所述第二方向上的入射角度，

所述多个第二限制板限制向所述掩模开口入射的所述第二蒸镀颗粒在所述第二方向上的入射角度。

10.如权利要求1～8中的任一项所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元形成有所述第一蒸镀颗粒通过的仅一个第一限制开口和所述第二蒸镀颗粒通过的多个第二限制开口，

所述多个第二限制开口在所述第二方向由多个第二限制板划分，

所述多个第二限制板限制向所述掩模开口入射的所述第二蒸镀颗粒在所述第二方向上的入射角度。