[发明专利]玻璃板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用下拉法的玻璃板制造方法。

背景技术

在液晶显示器或等离子体显示器等平板显示器(以下称为“FPD”)所使用的玻璃基板中，使用厚度例如为0.5mm～0.7mm的较薄的玻璃板。该FPD用玻璃基板例如在第1代中为300mm×400mm的尺寸，但在第10代中变为2850mm×3050mm的尺寸。

为了制造这种第8代以后的大尺寸的FPD用玻璃基板，最经常使用溢流下拉法。溢流下拉法包括在成型炉中通过使熔融玻璃自成型体的上部溢出而在成型体的下方成型为板状玻璃的工序、和在缓慢冷却炉中对板状玻璃进行缓慢冷却的工序。缓慢冷却炉在通过将板状玻璃引入成对的辊间而拉伸为所需的厚度之后，以降低板状玻璃的内部应变或热缩的方式而对板状玻璃进行缓慢冷却。之后，将板状玻璃切割为特定的尺寸并作为玻璃板而层积在其他的玻璃板上，然后进行保管。或者将玻璃板搬送至下一工序。

将通过这种成型而制造的玻璃板用于玻璃表面形成有半导体元件的液晶显示器的玻璃基板，但为了不使在该玻璃表面形成的半导体元件的特性因玻璃基板的玻璃组成而劣化，而优选地使用完全不含有碱金属成分的玻璃板、或即便含有其含量也少的玻璃板。

然而，若玻璃板中存在气泡则会成为显示缺陷的原因，因此，存在气泡的玻璃板作为平板显示器用玻璃基板并不合适。因此，要求气泡不残留在玻璃板中。尤其是对于液晶显示器用玻璃基板或有机EL显示器用玻璃基板，气泡的要求更加严格。

然而，为了抑制半导体元件的特性的劣化，不含有碱金属成分、或即便含有其含量也为少量的玻璃板存在如下问题：与钠钙玻璃等大量含有碱金属的玻璃板相比，其高温粘性高，气泡难以自制造中的熔融玻璃脱离。

从降低环境负荷的观点出发，要求限制以往所使用的毒性高的As₂O₃的使用。因此，近年来代替As₂O₃而将与As₂O₃相比澄清功能较差的SnO₂或Fe₂O₃作为澄清剂而使用。SnO₂或Fe₂O₃会成为玻璃的失透或着色的原因，因此无法为了确保与As₂O₃同等的澄清功能而大量添加在玻璃中。因此，气泡更容易残留在作为最终产品的玻璃板中。

对此，提出了一种技术，其中，在使玻璃化反应在1300℃～1500℃下产生的无碱玻璃温度上升至例如1650℃而进行脱泡的玻璃基板的制造方法中，为了改善脱泡效果而使熔融玻璃所具有的β-OH值为0.485/mm以上(专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-97090号公报

发明内容

发明要解决的问题

此处，例如在不含有碱金属、或即便含有其含量也为少量的玻璃组成中，可熔解在熔融玻璃中的SO₂的熔解度小，因此一旦产生SO₂的气泡，则气泡作为缺陷容易残留在作为最终产品的玻璃板中。

但是，在上述专利文献1所记载的技术中，存在无法充分抑制澄清工序后的SO₂气泡的产生的问题。

因此，本发明的目的在于提供一种在制造玻璃板时，可高效地降低残留在玻璃板中的气泡的玻璃板的制造方法。

用于解决问题的手段

本发明的第1方式是玻璃板的制造方法。

该制造方法包括：

熔解工序，其中，至少利用通电加热将含有SnO₂作为澄清剂的玻璃原料熔解，从而制作熔融玻璃；

澄清工序，其包括：脱泡处理，其中，在所述熔解工序之后，以2℃/分钟以上的升温速度使所述熔融玻璃的温度升温至1630℃以上，由此在所述熔融玻璃中生成气泡并进行脱泡；及吸收处理，其中，在所述脱泡处理之后，使所述熔融玻璃降温，由此将所述熔融玻璃中的气泡吸收在所述熔融玻璃中；及

成型工序，其中，将所述澄清工序后的所述熔融玻璃成型为板状玻璃。