[实用新型]液体连续供应装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种液体连续供应装置。

背景技术

在一些半导体工艺中，例如研磨液评估、工艺的开发等，需要少量的液体。如果采用大罐装的反应液体，往往因不能完全使用而造成浪费，并且运输也不方便。如果采用一小瓶的反应液体，这些研磨液评估、工艺的开发工作往往会因为瓶内的容量有限，不得不因更换瓶子而打断，严重影响了工作效率。

因此，如何提供一种采用小容量的瓶装液体的液体连续供应装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种液体连续供应装置，采用小容量的溶液瓶可以实现连续的液体供应，运输方便、使用便捷。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种液体连续供应装置，包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过所述控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。

优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述控制阀包括阀体、两端盖、阀芯、阀芯驱动机构以及密封圈，所述接口管和所述连接管与所述阀体对接的一端分别设有扩充管部，所述阀体的两侧分别设有与所述扩充管部的内径相匹配的凸管，藉由端盖和阀体之间的螺纹连接将所述扩充管部固定套设于对应的凸管外侧，所述阀体内部设有供所述阀芯滑动的阀芯通道，所述阀芯通道分别与所述凸管的内部连通，所述阀芯驱动机构带动所述阀芯上、下移动以启、闭两个凸管之间的通路，所述阀芯上与所述阀芯通道相接触的表面上设有所述密封圈。

优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述阀芯驱动机构包括旋钮以及螺杆，所述螺杆的一端与所述旋钮固定连接，所述螺杆的另一端与所述阀芯固定连接，所述阀芯通道的靠边缘部分设有与所述螺杆的外螺纹相匹配的内螺纹。

优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述溶液瓶两侧的所述连接管的另一端分别设有公接头和母接头。

优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述公接头包括锁紧器以及扩充管部，所述扩充管部与对应的连接管连接或一体成型，所述锁紧器的一端套设于对应的连接管的外侧，所述锁紧器的另一端设有内螺纹。

优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述母接头包括头部以及外螺纹管，所述头部经所述外螺纹管与对应的连接管连接或一体成型，所述外螺纹与所述内螺纹相匹配。

优选的，在上述的液体连续供应装置中，还包括一手推车，所述手推车包括用于放置所述三个溶液供应单元的托盘、推杆以及多个轮子，所述轮子安装于所述托盘的下方，所述推杆连接于所述托盘的一侧。

优选的，在上述的液体连续供应装置中，所述三个溶液供应单元中有一个溶液供应单元的溶液瓶外接一液体供应管路，所述液体供应管路上设有一液压泵，其他溶液供应单元的连接管分别与外接有液体供应管路的溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。

本实用新型提供的液体连续供应装置，包括至少三个溶液供应单元，每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管，所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端，所述接口管的另一端分别通过控制阀与所述连接管的一端密封连接，不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。当一瓶溶液供应单元（即第一个溶液供应单元）中的溶液瓶内溶液快用完时，可以在该第一个溶液供应单元中的一侧通过连接管接一个满的溶液供应单元（即第二个溶液供应单元），当这两个溶液供应单元中的溶液瓶内的溶液快用完时，可以在该第一个溶液供应单元中的另一侧的连接管接另外一个满的溶液供应单元（即第三个溶液供应单元），并可根据需要拆卸下第二个溶液供应单元，以连接第四个溶液供应单元，如此根据需要可以不停地接满的溶液供应单元，从而实现液体的连续供应。

此外，由于溶液瓶的体积小，使得搬运更加方便。另外，通过设置手推车，可以使得三个溶液供应单元的运输更加方便，从而，有效降低劳动强度，提高生产效率。

附图说明

本实用新型的液体连续供应装置由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型一实施例的液体连续供应装置的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的溶液供应单元的结构示意图；

图3是本实用新型一实施例的控制阀的结构示意图；

图4是本实用新型一实施例中不同连接管对接的结构示意图；

图5a是本实用新型的使用方法中第一步的结构示意图；