[实用新型]液体连续供应装置有效

专利信息
申请号: 201220748816.9 申请日: 2012-12-31
公开(公告)号: CN203010206U 公开(公告)日: 2013-06-19
发明(设计)人: 陈枫;熊世伟 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: F17D1/14 分类号: F17D1/14
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 液体 连续 供应 装置
【权利要求书】:

1.一种液体连续供应装置,其特征在于,包括至少三个溶液供应单元,每个所述溶液供应单元包括一溶液瓶、两根接口管、两个控制阀以及两根连接管,所述溶液瓶的两侧底部开设通孔并在该通孔处分别密封安装所述接口管的一端,所述接口管的另一端分别通过所述控制阀与所述连接管的一端密封连接,不同溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。

2.根据权利要求1所述的液体连续供应装置,其特征在于,所述控制阀包括阀体、两端盖、阀芯、阀芯驱动机构以及密封圈,所述接口管和所述连接管与所述阀体对接的一端分别设有扩充管部,所述阀体的两侧分别设有与所述扩充管部的内径相匹配的凸管,藉由端盖和阀体之间的螺纹连接将所述扩充管部固定套设于对应的凸管外侧,所述阀体内部设有供所述阀芯滑动的阀芯通道,所述阀芯通道分别与所述凸管的内部连通,所述阀芯驱动机构带动所述阀芯上、下移动以启、闭两个凸管之间的通路,所述阀芯上与所述阀芯通道相接触的表面上设有所述密封圈。

3.根据权利要求2所述的液体连续供应装置,其特征在于,所述阀芯驱动机构包括旋钮以及螺杆,所述螺杆的一端与所述旋钮固定连接,所述螺杆的另一端与所述阀芯固定连接,所述阀芯通道的靠边缘部分设有与所述螺杆的外螺纹相匹配的内螺纹。

4.根据权利要求1所述的液体连续供应装置,其特征在于,所述溶液瓶两侧的所述连接管的另一端分别设有公接头和母接头。

5.根据权利要求4所述的液体连续供应装置,其特征在于,所述公接头包括锁紧器以及扩充管部,所述扩充管部与对应的连接管连接或一体成型,所述锁紧器的一端套设于对应的连接管的外侧,所述锁紧器的另一端设有内螺纹。

6.根据权利要求5所述的液体连续供应装置,其特征在于,所述母接头包括头部以及外螺纹管,所述头部经所述外螺纹管与对应的连接管连接或一体成型,所述外螺纹与所述内螺纹相匹配。

7.根据权利要求1所述的液体连续供应装置,其特征在于,还包括一手推车,所述手推车包括用于放置所述三个溶液供应单元的托盘、推杆以及多个轮子,所述轮子安装于所述托盘的下方,所述推杆连接于所述托盘的一侧。

8.根据权利要求1~7中任意一项所述的液体连续供应装置,其特征在于,所述三个溶液供应单元中有一个溶液供应单元的溶液瓶外接一液体供应管路,所述液体供应管路上设有一液压泵,其他溶液供应单元的连接管分别与外接有液体供应管路的溶液供应单元的连接管可拆卸式连接。

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