[实用新型]辅助接片手装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械制造领域，特别涉及一种辅助接片手装置。

背景技术

随着光刻机技术的逐渐成熟，对光刻机内部结构简单化和低经济成本的要求越来越高。如何使光刻机内部结构的简单化以及降低生产成本，已经成为摆在各个光刻机制造商面前必须面对的问题。辅助接片手作为光刻机工件台中一个重要的装置，它主要是辅助主接片手完成将玻璃基板交接到传输机构的任务。

现有的部分光刻机的辅助接片手采用气缸作为动力元件，控制准确度不高，影响传输精度；还有的一些光刻机的辅助接片手分别由独立的电机驱动，运动同步性较差，而且经济成本高。辅助接片手作为一种可以自由上升或者下降的装置，广泛应用于光刻机中的基板传输。常见的提升机构中，平行四边形机构能按比例放大工作行程，广泛使用在各类液压升降设备中，但其工作方式都是顶升，如液压升降工作台，这种平面多杆机构虽然能增加提升行程，但构件受力计算比较复杂，而且占用空间较大；还有一些提升机构采用链条，例如多链条同步提升机构，由于链条需要润滑，容易对环境造成污染，不适合应用于光刻机领域。

随着大型平板LED技术的发展，对辅助接片手的数量要求也会更多。因此，如何提供一种结构简单、运动同步性好且经济成本低的辅助接片手装置成为本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种辅助接片手装置，以解决现有技术中辅助接片手经济成本高，运动同步性差，结构复杂的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种辅助接片手装置，包括主接片手、辅助接片手、顶板、带轮、同步带、直流伺服电机、轴承、轴承座、凸轮轴以及底板，其中，所述辅助接片手和主接片手安装在所述顶板上，所述带轮、直流伺服电机以及轴承座安装在所述底板上，所述同步带与所述带轮相匹配，同步带上安装有两个光电开关限位挡板，所述辅助接片手的底部与所述凸轮轴相接触，所述凸轮轴的两端分别通过所述轴承连接在所述底板上，且所述凸轮轴的一端与所述带轮相连，所述轴承通过所述轴承座固定在所述底板上。

作为优选，所述凸轮轴为两组，分别设置在所述同步带两端的底板上。

作为优选，所述凸轮轴包括横轴和多个凸轮，所述凸轮套设在所述横轴上并与所述横轴固定连接，所述凸轮的上表面与所述辅助接片手相接触。

作为优选，所述带轮包括第一带轮和第二带轮，其中，第一带轮设置在所述同步带的中间位置，且所述第一带轮与所述直流伺服电机相连，所述第二带轮有两个，分别设置于所述同步带的两端，且所述第二带轮与所述凸轮轴相连。

作为优选，还包括光电开关，所述光电开关设置在所述底板上。

作为优选，还包括电气限位挡板，所述电气限位挡板设置在所述同步带上。

作为优选，所述顶板上设置有导轨，所述辅助接片手在所述导轨中上下移动。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、用一台直流伺服电机驱动整个辅助接片手装置，减少了原动件的数目，降低了控制的难度，节省了经济成本；

2、采用同步带传动和凸轮轴传动方式，结构简单，制造方便；

3、通过凸轮轴实现辅助接片手的上升或者下降，控制简单可靠，运动同步性好；

4、可以根据实际需要增加辅助接片手的数量，实现大尺寸基板的交接传输。

附图说明

图1为本实用新型一具体实施方式中辅助接片手装置的主视图；

图2为本实用新型一具体实施方式中辅助接片手装置的左视图；

图3为本实用新型一具体实施方式中辅助接片手装置的立体示意图；

图4为本实用新型一具体实施方式中辅助接片手装置的俯视图；

图5为本实用新型一具体实施方式中辅助接片手的安装示意图；

图6为本实用新型一具体实施方式中凸轮的结构示意图。

图中：1-辅助接片手、2-主接片手、3-顶板、4-带轮、401-第一带轮、402-第二带轮、5-同步带、6-直流伺服电机、7-轴承、8-轴承座、9-凸轮轴、901-凸轮、902-横轴、10-底板、11-光电开关、12-电气限位挡板。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本实用新型附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。