[实用新型]一种大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构有效

专利信息
申请号: 201220742543.7 申请日: 2012-12-28
公开(公告)号: CN203049094U 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 徐永亮;吴智洪;刘自强 申请(专利权)人: 上海昀丰新能源科技有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B17/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 魏晓波
地址: 201315 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 规格 尺寸 蓝宝石 加热器 结构
【权利要求书】:

1.一种大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构,其特征在于,包括:

侧面加热器(1),采用两个沿轴向通过绝缘件紧固连接的铜环作为电极,分别为第一铜电极(14)和第二铜电极(15),在这两个铜电极上分别沿周向安装有多个U型钨棒(12)形成筒状结构作为发热体,且所述U型钨棒(12)在所述第一铜电极(14)和所述第二铜电极(15)上分别按轴对称排列方式固定;

底部加热器(3),采用双螺旋钨丝(31)根据热场需要构建同心发热环,所述双螺旋钨丝(31)通过双螺旋连接螺丝(38)连接于电极板(34)上,底部通过U型支撑钨棒(32)支撑。

2.根据权利要求1所述的大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构,其特征在于,两个所述铜电极上的所述U型钨棒(12)相间排布在同一个圆周上。

3.根据权利要求2所述的大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构,其特征在于,两个所述铜电极上分别开设有用于安装所述U型钨棒(12)的安装孔,且位于下方的所述第一铜电极(14)的内壁上与所述第二铜电极(15)上的安装孔相对的位置开设有凹槽,用于供安装在所述第二铜电极(15)上的所述U型钨棒(12)通过。

4.根据权利要求3所述的大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构,其特征在于,两个所述铜电极通过多个螺栓(17)紧固连接,每个所述螺栓(17)与所述铜电极之间垫设有绝缘垫(16),且两个所述铜电极之间设置有绝缘块(13)。

5.根据权利要求4所述的大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构,其特征在于,每个所述U型钨棒(12)的顶部固定在所述铜电极的安装孔上,底部均插入圆形钨环(11),并通过细的钨丝捆绑在一起。

6.根据权利要求1所述的大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构,其特征在于,所述U型支撑钨棒(32)位于下保温钼屏(33)的部分套设有U型支撑钨棒绝缘套(37)。

7.根据权利要求6所述的大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构,其特征在于,所述U型支撑钨棒(32)的底部插入绝缘圈(35),固定在底部支撑固定板(36)上。

8.根据权利要求1所述的大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构,其特征在于,所述侧面加热器(1)和所述底部加热器(3)分别连接于不同的电路,能够在晶体加工的不同阶段调整所述侧面加热器(1)以及所述底部加热器(3)的功率,以满足晶体不同的阶段对热场的不同要求。

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