[实用新型]一种半导体用旋涂仪的多功能转盘有效
| 申请号： | 201220738863.5 | 申请日： | 2012-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN203076164U | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 李贤;刘松民;白路;班群;沈辉 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C11/08 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 曹爱红 |
| 地址： | 510006 广东省广州市大*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 用旋涂仪 多功能 转盘 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体用旋涂仪的多功能转盘，包括转柄和盘面，所述转柄和盘面固定连接成一体，其特征在于：所述转柄中心处设有抽气圆孔，所述转盘上表面设有凹槽，所述凹槽上设有多道吸气槽，且至少有一条通过转柄中心与其余吸气槽相交。
2.根据权利要求1所述的一种半导体用旋涂仪的多功能转盘，其特征在于：所述凹槽的四个角位置处各有一个开口至盘面边缘。
3.根据权利要求2所述的一种半导体用旋涂仪的多功能转盘，其特征在于：开口宽度为0.5-1.5cm。
4.根据权利要求1所述的一种半导体用旋涂仪的多功能转盘，其特征在于：转柄和盘面采用过盈连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体用旋涂仪的多功能转盘，其特征在于：转柄和盘面中轴线重合。
6.根据权利要求1所述的一种半导体用旋涂仪的多功能转盘，其特征在于：所述吸气槽有10~30道。
7.根据权利要求6所述的一种半导体用旋涂仪的多功能转盘，其特征在于：所述吸气槽为椭圆形、圆形或长条形。
8.根据权利要求1所述的一种半导体用旋涂仪的多功能转盘，其特征在于：所述转柄上有两个关于中轴对称的U型槽。
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