[实用新型]一种36对棒多晶硅还原炉底盘

说明书

技术领域

本新型属于还原炉底盘，具体涉及一种36对棒多晶硅还原炉底盘。

背景技术

多晶硅是最主要的光伏材料，是集成电路硅衬底、新型环保能源太阳能电池的主流材料，也是生产单晶硅的直接原料，是发展信息产业和新能源产业的重要基石。多晶硅还原炉是提炼多晶硅的专用设备，通过对比9对棒、12对棒、13对棒、18对棒和24对棒还原炉，不难发现，随着还原炉规格和棒数的增加,还原炉的单位电耗下降,产量上升。而且棒数越多，产量越高、节能效果越显著。多晶硅还原炉的大型化是多晶硅规模化生产发展的必然趋势，目前36对棒还原炉是多晶硅生产厂家拟采用的主流设备。

36对棒还原炉内气场和热场的均匀性是决定多晶硅产量、质量及节能程度的重要因素。而还原炉内气场和热场是否均匀是由底盘上电极、进气口和出气口的排布决定的，同时底盘上电极排布决定着底盘上电极及电极组的连接和电源控制系统对电极组的控制。目前尚无最优36对棒还原炉底盘。

发明内容

本新型针对现有技术的缺陷，提供能耗较低的一种36对棒多晶硅还原炉底盘。

本新型是这样实现的：一种36对棒多晶硅还原炉底盘，其中，包括圆形的底盘主体，在底盘主体中心位置设置由两个等边三角形反相布置形成的正六角形，在该正六角形6个顶点和6个交点上均设置电极，共设置12个电极，在上述正六角形外，设置12个正六边形，该12个正六边形以前述的正六角形为中心，均匀布置，且该12个正六边形以共用相邻临边—共用相邻顶点的规则布置，即第一个正六边形与第二的正六边形共用一个相邻的边，第二个正六边形与第三的正六边形共用相邻的顶点，第三个正六边形与第四的正六边形共用一个相邻的边，第四个正六边形与第五的正六边形共用相邻的顶点，以此类推，在上述12个正六边形的顶点上设置电极，12个正六边形上共设置电极54个，上述12个正六边形布置完成后，在最上方、左下方和右下方各会有两个相邻的正六边形共用一个点，上述三个方向的正六边形大致呈等边三角形布置，以上述共用一个点的正六边形的外围边为边，构建等边三角形，则构建出的三角形的顶点为电极位置，这样的位置共有6个。

如上所述的一种36对棒多晶硅还原炉底盘，其中，6个出气口位置设置的规则如下，首选选取一个前述正六角形6的一个交点，然后选取与该交点最近的一个共用边远端的点，取两点的连线并延长至指定长度，该位置为出气口位置。

如上所述的一种36对棒多晶硅还原炉底盘，其中，所述21个进气口在底盘上分3圈，具体布置规则如下：最内的6个均匀分布在内圈，位于以电极【4，10，24，23，22，11】，【10，3，9，27，26，25】，【2，9，28，29，30，8】，【1，7，15，14，13，8】，【7，6，12，18，17，16】，【5，11，21，20，19，12】为顶点的6个正六的中心位置，中圈分布的12个位于以底盘中心为心的12个相邻的正6边形的中心处，外圈3个分别位于外圈电极67与电极68、电极69与电极70及电极71与电极72连线的中心处。

本新型的效果是：利用本申请的还原炉底盘可以提高产量，降低消耗。

附图说明

图1是本新型提供的一种36对棒多晶硅还原炉底盘的结构示意图。

图中：1～72为电极、1a～21a为进气口、1b～6b为出气口。

具体实施方式