[实用新型]一种36对棒多晶硅还原炉底盘

权利要求书

1.一种36对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于：包括圆形的底盘主体，在底盘主体中心位置设置由两个等边三角形反相布置形成的正六角形，在该正六角形6个顶点和6个交点上均设置电极，共设置12个电极，在上述正六角形外，设置12个正六边形，该12个正六边形以前述的正六角形为中心，均匀布置，且该12个正六边形以共用相邻临边—共用相邻顶点的规则布置，即第一个正六边形与第二的正六边形共用一个相邻的边，第二个正六边形与第三的正六边形共用相邻的顶点，第三个正六边形与第四的正六边形共用一个相邻的边，第四个正六边形与第五的正六边形共用相邻的顶点，以此类推，在上述12个正六边形的顶点上设置电极，12个正六边形上共设置电极54个，上述12个正六边形布置完成后，在最上方、左下方和右下方各会有两个相邻的正六边形共用一个点，上述三个方向的正六边形大致呈等边三角形布置，以上述共用一个点的正六边形的外围边为边，构建等边三角形，则构建出的三角形的顶点为电极位置，这样的位置共有6个。 

2.如权利要求1所述的一种36对棒多晶硅还原炉底盘，其特征在于：在还原炉底盘上还设置6个出气口，6个出气口位置设置的规则如下，首选选取一个前述正六角形6的一个交点，然后选取与该交点最近的一个共用边远端的点，取两点的连线并延长至指定长度，该位置为出气口位置。 

3.如权利要求2所述的一种36对棒多晶硅还原炉底盘，其特征 在于：在还原炉底盘上还设置21个进气口，所述21个进气口在底盘上分3圈，具体布置规则如下：最内的6个均匀分布在内圈，位于以电极【4，10，24，23，22，11】，【10，3，9，27，26，25】，【2，9，28，29，30，8】，【1，7，15，14，13，8】，【7，6，12，18，17，16】，【5，11，21，20，19，12】为顶点的6个正六的中心位置，中圈分布的12个位于以底盘中心为心的12个相邻的正6边形的中心处，外圈3个分别位于外圈电极67与电极68、电极69与电极70及电极71与电极72连线的中心处。