[实用新型]化学药液供给系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及自动化控制技术领域，特别涉及一种化学药液供给系统。

背景技术

在半导体行业中，在很多工序上都会使用到各种化学药液，而在工艺过程中使用的化学药液原液都是由设备外部提供，再根据自身工艺要求在设备内部进行一定比例的稀释或混合。现阶段市场上的化学药液原液大多是已经按照一定体积灌装好的标准品，所以在半导体行业中便需要一套能够将灌装好的化学药液输送到不同设备去的化学药液供给系统。由于所输送的化学药液多为浓度较高的酸性或碱性液体，具有较强的腐蚀性和危险性，同时也要防止外界环境对药液造成污染，以免影响半导体工艺效果，所以在输送过程中要避免药液与操作人员直接接触或直接暴露于工作环境中。同时，由于半导体行业的连续作业以及工艺对药液流量的要求，如果在工艺过程中出现药液供给突然间断将会造成重大影响。现有药液检测大多是提前检测，即使用液位传感器检测灌装原液的最低液位，当到达设定的最小体积时就要更换原液，这样虽然避免了药液供给中断的危险，但会造成一定程度的浪费。

发明内容

（一）所要解决的技术问题

本实用新型的目的在于提供一种能够自动控制化学药液供给的系统，能够在不间断供给的情况下更换药液储液罐，液体流动相对封闭，且能够解决药液流量变化较大时同一套供液系统不兼容的问题。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提出了一种化学药液供给系统，所述系统包括主用储液罐、备用储液罐、供液装置和控制器，其中：

所述供液装置分别与所述主用储液罐、所述备用储液罐以及所述控制器相连接；

所述主用储液罐及所述备用储液罐用于储存并提供化学药液；

所述供液装置用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送给外部设备；

所述控制器用于控制所述供液装置将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送给外部设备。

可选的，所述供液装置具体包括供液管路、供液气动阀、供液泵和供液出口手阀，其中：

所述供液管路的进液口分别与所述主用储液罐及所述备用储液罐的底部相连，所述供液管路的出液口与所述供液出口手阀相连，用于输送化学药液；

所述供液气动阀与所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令控制所述供液管路的连通或闭合；

所述供液泵用于将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送到所述供液出口手阀；

所述供液出口手阀用于将所述供液管路中的化学药液输送给外部设备。

可选的，所述供液管路的进液口还安装有液位传感器，

所述液位传感器与所述控制器相连，用于采集所述主用储液罐或所述备用储液罐的液位信息，并将所述液位信息传送给所述控制器。

可选的，所述系统还包括回液装置，

所述回液装置分别与所述主用储液罐、所述备用储液罐、所述供液装置及所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令将所述供液管路中的部分化学药液回送到所述主用储液罐或所述备用储液罐。

可选的，所述回液装置具体包括回液管路、回液气动阀和针阀，其中，

所述回液管路的一端与所述供液管路的出液口相连，另一端分别与所述主用储液罐及所述备用储液罐相连，用于回送化学药液；

所述回液气动阀与所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令控制所述回液管路的连通或闭合；

所述针阀用于调节所述回液管路的开度。

可选的，所述供液装置还包括药液循环子装置，

所述药液循环子装置分别与所述主用储液罐、所述备用储液罐及所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液通过管路循环的方式混合均匀。

可选的，所述系统还包括补气装置，

所述补气装置分别与所述主用储液罐、所述备用储液罐及所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令向所述主用储液罐或所述备用储液罐中补充氮气。

可选的，所述补气装置还包括超压溢流单向阀，

所述超压溢流单向阀分别与所述主用储液罐及所述备用储液罐的顶部相连，用于调节所述主用储液罐及所述备用储液罐中的气体压力，使其始终小于设定阈值。

可选的，所述系统还包括清洗装置，

所述清洗装置分别与所述供液装置及所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令对所述供液管路进行清洗。

可选的，所述系统还包括干燥装置，