[实用新型]化学药液供给系统

权利要求书

1.一种化学药液供给系统，其特征在于，所述系统包括主用储液罐、备用储液罐、供液装置和控制器，其中：

所述供液装置分别与所述主用储液罐、所述备用储液罐以及所述控制器相连接；

所述主用储液罐及所述备用储液罐用于储存并提供化学药液；

所述供液装置用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送给外部设备；

所述控制器用于控制所述供液装置将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送给外部设备。

2.根据权利要求1所述的化学药液供给系统，其特征在于，所述供液装置具体包括供液管路、供液气动阀、供液泵和供液出口手阀，其中：

所述供液管路的进液口分别与所述主用储液罐及所述备用储液罐的底部相连，所述供液管路的出液口与所述供液出口手阀相连，用于输送化学药液；

所述供液气动阀与所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令控制所述供液管路的连通或闭合；

所述供液泵用于将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送到所述供液出口手阀；

所述供液出口手阀用于将所述供液管路中的化学药液输送给外部设备。

3.根据权利要求2所述的化学药液供给系统，其特征在于，所述供液管路的进液口还安装有液位传感器，

所述液位传感器与所述控制器相连，用于采集所述主用储液罐或所述备用储液罐的液位信息，并将所述液位信息传送给所述控制器。

4.根据权利要求2所述的化学药液供给系统，其特征在于，所述系统还包括回液装置，

所述回液装置分别与所述主用储液罐、所述备用储液罐、所述供液装置及所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令将所述供液管路中的部分化学药液回送到所述主用储液罐或所述备用储液罐。

5.根据权利要求4所述的化学药液供给系统，其特征在于，所述回液装置具体包括回液管路、回液气动阀和针阀，其中，

所述回液管路的一端与所述供液管路的出液口相连，另一端分别与所述主用储液罐及所述备用储液罐相连，用于回送化学药液；

所述回液气动阀与所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令控制所述回液管路的连通或闭合；

所述针阀用于调节所述回液管路的开度。

6.根据权利要求2所述的化学药液供给系统，其特征在于，所述供液装置还包括药液循环子装置，

所述药液循环子装置分别与所述主用储液罐、所述备用储液罐及所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液通过管路循环的方式混合均匀。

7.根据权利要求1或2所述的化学药液供给系统，其特征在于，所述系统还包括补气装置，

所述补气装置分别与所述主用储液罐、所述备用储液罐及所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令向所述主用储液罐或所述备用储液罐中补充氮气。

8.根据权利要求7所述的化学药液供给系统，其特征在于，所述补气装置还包括超压溢流单向阀，

所述超压溢流单向阀分别与所述主用储液罐及所述备用储液罐的顶部相连，用于调节所述主用储液罐及所述备用储液罐中的气体压力，使其始终小于设定阈值。

9.根据权利要求2所述的化学药液供给系统，其特征在于，所述系统还包括清洗装置，

所述清洗装置分别与所述供液装置及所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令对所述供液管路进行清洗。

10.根据权利要求2所述的化学药液供给系统，其特征在于，所述系统还包括干燥装置，

所述干燥装置分别与所述供液装置及所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令对所述供液管路进行干燥处理。