[实用新型]带有定量加料装置的处理设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及处理设备的领域。尤其地，本实用新型涉及在使用定量加料装置的情况下借助于液态组分对工件进行湿法化学处理的处理设备领域。

背景技术

制造例如为太阳能电池或半导体器件的物品典型地涉及例如为对衬底进行剥离（例如刻蚀）、表面改性（例如掺杂）、覆层（例如金属化）或清洗（例如冲洗）的一个或多个湿法化学的处理步骤，所述衬底通常包括硅、玻璃、陶瓷、环氧树脂或塑料或者由其组成。因为在大多数情况下，多个这种湿法化学的处理步骤彼此跟随，在市场上提供相应的设备，所述设备具有至少一个、然而大多多个彼此跟随的湿法化学的处理站，以下也简称为“站”。待处理的物品或者成批地（批量地）或者连续地（一列式）从一个站输送到下一个站。出于经济的原因，当今站已经在其尺寸方面尽可能地被标准化，以便当站失灵时或者应当在组建新的工艺时能够以简单的方式进行替换。典型地在分配给站中的一个的处理池中进行湿法化学的处理。这种处理设备也由名为“NIAK”的申请人销售。

当然，这种设备的湿法化学的处理站中的每一个必须供应有一种或多种例如为（去离子）水、刻蚀液（酸或碱）、电解液等的介质。为此必要的是，将完成混合的处理介质或者组分本身以正确的量定量加料到池中。在此，高的配方精确性对不变的良好处理结果而言是不可缺少的。

对此，引导液态组分（以下也称为“液体”）的组分供应管道与所谓的定量加料装置连接。通常，借助于单独的控制装置来测定要输出的液体量。

典型地，每个处理站也具有用于介质或所述介质的组分的特殊的定量加料装置、控制装置等。其结果为，这种站包含大量连同流体管道的定量加料装置，所述流体管道典型地分别“根据需要”来铺设和连接。为了连接到中央组分供应装置上，空出在站的下侧、后侧和/或上侧的没有精确限定的区域。相应地，在组装由各个站组成的设备时，必须单独地考虑每个站的连接情况，这不仅是耗费时间的，也能够为连接误差源。

通常，例如为了维修的目的，必须更换站的一些或者全部的定量加料或操纵元件。介质更换也能够使清洁或完全更换介质的流体管道、阀等是必要的。这意味着，至少整个站、并且可能甚至整个设备必须停止运行更长的时间段，因为通常大量存在的流体组分必须全部单独拆卸并且分开维护。根据意义地，这也适用于例如传感器或指示仪表的电组件。

实用新型内容

因此，本实用新型的目的是提供一种避免现有技术的缺点的设备。

尤其地，本实用新型应提供一种处理设备，所述处理设备减少了用于以不同的液体进行湿法化学处理所必需的定量加料装置的数量。

通过一种处理设备，其具有：能够经由介质供应管道供料的处理池，以用于借助于处理介质对工件进行湿法化学处理，所述处理介质具有至少一种液态组分；至少一个具有单独的导出管道的定量加料装置，其中用于在整个设备的范围内进行处理所需要的每种液态组分分配有单独的定量加料装置，并且其中每个导出管道经由可控制的切换阀与所述处理池的所述介质供应管道连接；或一种处理设备，其具有：能够经由介质供应管道供料的处理池，以用于借助于处理介质对工件进行湿法化学的处理，所述处理介质具有至少一种液态组分；至少一个具有单独的导出管道的定量加料装置，其中用于在整个设备的范围内进行处理所需要的每种液态组分分配有单独的定量加料装置，其中每个导出管道通到每个处理池中并且包括选择阀，来实现所述目的。其他的有利的实施形式在说明书以及附图中得出。

本实用新型公开一种处理设备，所述处理设备具有可经由介质供应管道供料的处理池以用于借助于处理介质对工件进行湿法化学处理。处理池本身具有至少一种、并且典型地具有多种液态组分。处理设备也包括至少一个具有单独的导出管道的定量加料装置。

根据本实用新型，现在，用于在整个设备的范围中进行处理所必需的每种液态组分被分配有单独的定量加料装置。这意味着，这种设备不再具有优选存在的、分配给各个处理站的定量加料装置，而是借助于单独的定量加料装置对要在设备范围中使用的液态组分中的每一种进行定量加料。这与上述设备相比，尤其当大量的池能够用明确数量的液态组分供应时，显著地减少必需的定量加料装置的数量。

因此，尽管如此，经由分配给设备（并且绝对没有分配给各个处理站）的定量加料装置仍能够将适当类型和量的组分定量加料到各个处理池中，根据本实用新型的第一实施形式，每个定量加料装置的每个导出管道经由可控制的切换阀与处理池的介质供应管道连接。因此，能够单独地控制：应将哪种组分以什么样的量定量加料到设备的哪个处理池中。