[实用新型]带有定量加料装置的处理设备

权利要求书

1.处理设备（14），所述处理设备具有：能够经由介质供应管道（19）供料的处理池（15），以用于借助于处理介质（B）对工件进行湿法化学处理，所述处理介质具有至少一种液态组分（F）；至少一个具有单独的导出管道（10，10’）的定量加料装置（1，1’），其中用于在整个设备（14）的范围内进行处理所需要的每种液态组分（F）分配有单独的定量加料装置（1，1’），并且其中每个导出管道（10，10’）经由可控制的切换阀（17）与所述处理池（15）的所述介质供应管道（19）连接。

2.处理设备（14），所述处理设备具有：能够经由介质供应管道（19）供料的处理池（15），以用于借助于处理介质（B）对工件进行湿法化学的处理，所述处理介质具有至少一种液态组分（F）；至少一个具有单独的导出管道（10，10’）的定量加料装置（1，1’），其中用于在整个设备（14）的范围内进行处理所需要的每种液态组分（F）分配有单独的定量加料装置（1，1’），其中每个导出管道（10，10’）通到每个处理池（15）中并且包括选择阀（9’）。

3.根据权利要求1或2所述的处理设备（14），其中所述处理设备的一个或多个组分和介质供应管道（18，19）终止在用于一个或多个所述定量加料装置（1，1’）的通到快速接口中的导出管道（10，10’）的容纳部中。

4.根据上述权利要求之一所述的处理设备（14），其中所述处理设备（14）具有至少一个凹槽，所述凹槽用于至少一个构造为定量加料模块的定量加料装置（1，1’），所述定量加料装置能够插入到所述凹槽中。

5.根据上述权利要求之一所述的处理设备（14），所述处理设备具有：定量加料装置（1，1’），以用于提供要在对工件进行湿法化学处理的范围内使用的液态组分（F），其中所述定量加料装置（1，1’）包括带有入口（3）和出口（4）的储存器（2）、至少一个通到所述储存器（2）中的导入管道（5）、用于储存器内含物（F’）的称重装置（7）、设置在所述出口（4）下游的流量测量装置（8）、至少一个能够控制的排出阀（9）、以及导出管道（10，10’），其中所述储存器（2）具有用于压缩气体（G）的入流口（11），并且所述出口（4）设置在所述储存器（2）的下部区域（2”）中。