[实用新型]一种多晶制绒机自动上料设备防摔装置有效
| 申请号： | 201220710429.6 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN203026491U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 李斌;鲍洪亮;王利国;刘屹;戴德鹏 | 申请（专利权）人： | 晶澳（扬州）太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波;侯莉 |
| 地址： | 225131 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 制绒机 自动 设备 装置 | ||
1.一种多晶制绒机自动上料设备防摔装置，其特征在于：包括发射传感器与接收传感器，所述发射传感器与接收传感器分设在自动上料设备料盒两侧的风刀支架的上部，所述发射传感器与接收传感器的设置位置即为传感器安装位，所述传感器安装位在硅片工作位的上方，而使硅片上升超过工作位并到达传感器安装位时，接收传感器向电机发送停止信号以限位硅片从而防止摔片。
2.根据权利要求1所述的多晶制绒机自动上料设备防摔装置，其特征在于：所述接收传感器连接有报警器，所述接收传感器向电机发送停止信号的同时向报警器发送报警信号，由报警器发出警报。
3.根据权利要求2所述的多晶制绒机自动上料设备防摔装置，其特征在于：所述传感器安装位距离用于承载硅片的工作台台面为180～200mm。
4.根据权利要求3所述的多晶制绒机自动上料设备防摔装置，其特征在于：所述发射传感器与接收传感器分别通过安装支架可拆卸安装在所述风刀支架上。
5.根据权利要求4所述的多晶制绒机自动上料设备防摔装置，其特征在于：所述的安装支架呈形折板状，它由竖板与水平板组成，所述发射传感器与接收传感器分别安装在所述水平板的上板面上，而所述安装支架的竖板则固定在风刀支架的内侧。
6.根据权利要求5所述的多晶制绒机自动上料设备防摔装置，其特征在于：所述安装支架与风刀支架为螺纹连接，所述风刀支架上开有沿其纵向延伸的长条形孔，所述安装支架由螺栓穿过长条形孔后固定，并随螺栓位于长条形孔的不同位置以使安装支架在风刀支架上的设置位置可调。
7.根据权利要求5所述的多晶制绒机自动上料设备防摔装置，其特征在于：所述安装支架与风刀支架为螺纹连接，所述风刀支架上沿其竖向开有多个安装孔，所述安装支架由螺栓穿过不同的安装孔后固定以使安装支架在风刀支架上的设置位置可调。
8.根据权利要求6或7所述的多晶制绒机自动上料设备防摔装置，其特征在于：所述安装支架设置位置的调节范围为0～20mm。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
