[实用新型]一种用于AMOLED的移动蒸镀装置

说明书

技术领域

本实用新型属于AMOLED（有源矩阵发光显示器）技术领域，具体涉及一种用于AMOLED的移动蒸镀装置。

背景技术

现有AMOLED制备过程中采用的FMM（Fine Metal Mask）蒸镀技术利用位置固定的点蒸发源（Point source）对位于其上方的位置固定的基板进行蒸镀，但是，现有FMM（Fine Metal Mask）蒸镀技术在应用于大型化AMOLED生产后，蒸镀膜厚度的一致性（uniformity）明显降低。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于AMOLED的移动蒸镀装置。

为实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：

包括与基板相对的可以在与基板平行的平面内移动的蒸发源。

所述蒸发源设置于基板的下方。

所述基板可移动。

所述蒸发源包括若干个呈线型排列的点蒸发源。

所述蒸发源设置于与基板平行的轨道上。

所述蒸发源为单个或者多个。

本实用新型所述移动蒸镀装置采用可以移动的蒸发源对基板进行蒸镀，提高了蒸镀膜厚度的一致性、均一性，提高了大型化AMOLED的质量，降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图，图中：基板1，蒸发源2，轨道运动方向一X，轨道运动方向二Y。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

参见图1，本实用新型包括与基板1相对的可以在与基板1平行的平面内移动的蒸发源2，所述蒸发源2为单个或者多个，所述蒸发源2设置于基板1的下方，所述基板1可移动，所述蒸发源2设置于与基板1平行的轨道上，所述蒸发源2包括若干个呈线型排列的点蒸发源。

实施例

一种移动蒸镀系统，包括采用向上式蒸镀方式的线型蒸发源（LinearSource），根据蒸镀效率要求线型蒸发源的数量可以采用多源（Multi Source）或者单源（Single Source），掩模板（Mask）采用多面分割方式制作，以防弯曲，确保品质，掩模板和基板的距离为200-300mm，距离可变更，以注入式投入蒸镀材料，线型蒸发源沿轨道移动对基板进行蒸镀，线型蒸发源与轨道可分离，蒸镀中掩模板同时随基板一起移动，基板采用线性电机驱动。该蒸镀系统使得大面积面板玻璃的蒸镀膜厚管理变得更容易，通过使用多个线型蒸发源，可以提高机器运转率10%，提高生产效率50%，蒸镀材料的使用效率比现有方式将会增加50%以上，可进行大面积1300x1500mm的蒸镀，比较容易进行维护保养。