[实用新型]一种用于AMOLED的移动蒸镀装置有效
| 申请号： | 201220656550.5 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN203034084U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 金山 | 申请（专利权）人： | 彩虹（佛山）平板显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 528300 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 amoled 移动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于AMOLED的移动蒸镀装置，其特征在于：包括与基板（1）相对的可以在与基板（1）平行的平面内移动的蒸发源（2）。
2.根据权利要求1所述一种用于AMOLED的移动蒸镀装置，其特征在于：所述蒸发源（2）设置于基板（1）的下方。
3.根据权利要求1所述一种用于AMOLED的移动蒸镀装置，其特征在于：所述基板（1）可移动。
4.根据权利要求1所述一种用于AMOLED的移动蒸镀装置，其特征在于：所述蒸发源（2）包括若干个呈线型排列的点蒸发源。
5.根据权利要求1所述一种用于AMOLED的移动蒸镀装置，其特征在于：所述蒸发源（2）设置于与基板（1）平行的轨道上。
6.根据权利要求1所述一种用于AMOLED的移动蒸镀装置，其特征在于：所述蒸发源（2）为单个或者多个。
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