[实用新型]一种电子级六氟化硫提纯装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种六氟化硫提纯装置，特别涉及一种适用于吸附精馏工艺制取电子级六氟化硫的电子级六氟化硫提纯装置。

背景技术

当前，SF6气体主要用于电力工业中。SF6气体用于4种类型的电气设备作为绝缘和/或灭弧；SF6断路器及GIS（在这里指六氟化硫封闭式组合电器，国际上称为“气体绝缘开关设备”（Gas Insulated Switchgear））、SF6负荷开关设备，SF6绝缘输电管线，SF6变压器及SF6绝缘变电站。80%用于高中压电力设备。

工业上，可作为致冷剂，致冷范围可在-45℃-0℃之间。电气工业利用其很高介电强度和良好的灭电弧性能，用作高压开关、大容量变压器、高压电缆和气体的绝缘材料。采矿工业用作反吸附剂，用于矿井煤尘中置换氧。

电子级六氟化硫（纯度在99.999%以上）是电子气体的一种。高纯SF6是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。目前我国电子行业使用的高纯SF6主要还是进口。

目前，国内厂家的工业级六氟化硫纯度大于99.9%，以市售的工业级六氟化硫为原料，对其进一步提纯，可以制得电子级六氟化硫。

综上所述，特别需要一种电子级六氟化硫提纯装置，已解决上述现有存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电子级六氟化硫提纯装置，针对现有技术的不足，得到的六氟化硫浓度从99.9%提高到99.999%以上。

本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：

一种电子级六氟化硫提纯装置，其特征在于，它包括六氟化硫储罐、汽化单元、吸附单元和精馏单元，所述六氟化硫储罐依次连接所述汽化单元、所述吸附单元和所述精馏单元，所述精馏单元上连接有冷凝单元，所述精馏单元的底部连接有六氟化硫充装单元。

在本实用新型的一个实施例中，所述六氟化硫储罐通过一液体泵与所述汽化单元相连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述精馏单元的底部通过一再沸器与所述六氟化硫充装单元相连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述冷凝单元包括一冷凝器和一冷机，所述冷机与冷凝器互相连接。

进一步，所述冷凝器上设置有用于排放提纯出废气的放空口。

进一步，所述冷凝器为列管式冷凝器或者蒸发式冷凝器。

在本实用新型的一个实施例中，所述吸附单元为一吸附塔，所述吸附塔中设置有活性炭、分子筛或硅胶的吸附剂，所述吸附剂分段装填在所述吸附塔中。

在本实用新型的一个实施例中，所述精馏单元为一填料精馏塔，在所述填料精馏塔的分离柱中分段装填有填料，所述填料之间设置有液体分布器。

进一步，所述填料包括不锈钢丝网状规整填料、不锈钢环填料或者波纹板填料。

本实用新型的电子级六氟化硫提纯装置，与现有技术相比，六氟化硫储罐中的六氟化硫通过液体泵输送到液化单元再进入吸附单元，吸附处理后进到精馏单元，最后得到合格产品；得到的六氟化硫浓度从99.9%提高到99.999%以上，实现本实用新型的目的。

本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。

附图说明

图1为本实用新型的电子级六氟化硫提纯装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

如图1所示，本实用新型的电子级六氟化硫提纯装置，它包括六氟化硫储罐100、汽化单元200、吸附单元300和精馏单元400，所述六氟化硫储罐100依次连接所述汽化单元200、所述吸附单元300和所述精馏单元400，所述精馏单元400上连接有冷凝单元500，所述精馏单元400的底部连接有六氟化硫充装单元600。

在本实用新型中，所述六氟化硫储罐100通过一液体泵110与所述汽化单元200相连接。

所述精馏单元400的底部通过一再沸器410与所述六氟化硫充装单元600相连接。再沸器410采用电加热方式，再沸器410上装有压力、温度、液位和安全阀。

在本实用新型中，所述冷凝单元500包括一冷凝器510和一冷机520，所述冷机520与冷凝器510互相连接，冷机520是用来为冷凝器510提供冷量的，冷机520的冷却液通过冷凝器510，同时精馏单元400的循环液也通过冷凝器510，他们在冷凝器510中一个走管程一个走壳程，并交换能量。