[实用新型]一种电子级六氟化硫提纯装置有效
| 申请号： | 201220653043.6 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN202953823U | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 段鹏辉;刘炜炜;黄春;沈国良 | 申请（专利权）人： | 上海浦江特种气体有限公司 |
| 主分类号： | C01B17/45 | 分类号： | C01B17/45 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 何新平 |
| 地址： | 200072 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子 六氟化硫 提纯 装置 | ||
1.一种电子级六氟化硫提纯装置，其特征在于，它包括六氟化硫储罐、汽化单元、吸附单元和精馏单元，所述六氟化硫储罐依次连接所述汽化单元、所述吸附单元和所述精馏单元，所述精馏单元上连接有冷凝单元，所述精馏单元的底部连接有六氟化硫充装单元。
2.如权利要求1所述的电子级六氟化硫提纯装置，其特征在于，所述六氟化硫储罐通过一液体泵与所述汽化单元相连接。
3.如权利要求1所述的电子级六氟化硫提纯装置，其特征在于，所述精馏单元的底部通过一再沸器与所述六氟化硫充装单元相连接。
4.如权利要求1所述的电子级六氟化硫提纯装置，其特征在于，所述冷凝单元包括一冷凝器和一冷机，所述冷机与冷凝器互相连接。
5.如权利要求4所述的电子级六氟化硫提纯装置，其特征在于，所述冷凝器上设置有用于排放提纯出废气的放空口。
6.如权利要求4所述的电子级六氟化硫提纯装置，其特征在于，所述冷凝器为列管式冷凝器或者蒸发式冷凝器。
7.如权利要求1所述的电子级六氟化硫提纯装置，其特征在于，所述吸附单元为一吸附塔，所述吸附塔中设置有活性炭、分子筛或硅胶的吸附剂，所述吸附剂分段装填在所述吸附塔中。
8.如权利要求1所述的电子级六氟化硫提纯装置，其特征在于，所述精馏单元为一填料精馏塔，在所述填料精馏塔的分离柱中分段装填有填料，所述填料之间设置有液体分布器。
9.如权利要求8所述的电子级六氟化硫提纯装置，其特征在于，所述填料包括不锈钢丝网状规整填料、不锈钢环填料或者波纹板填料。
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