[实用新型]冷却水循环铜管

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体集成电路制造设备，特别是涉及一种冷却水循环铜管。

背景技术

传统的冷却水运用于高密度等离子设备中，传统的冷却水循环铜管(cooling coil)材质为铜，它使用焊接的方式将固定脚12焊接到铜管11上，固定脚12与高密度等离子设备(未标出)之间再使用螺丝13固定，如图1所示。固定脚12与铜管11之间因采用焊接方式进行连接，焊接处会对铜管有损伤，相对比较薄弱，使用一段时间后焊接处会因为腐蚀导致裂缝，出现渗漏，所以一般使用寿命为2年左右。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种冷却水循环铜管，能在不影响设备散热冷却的前提下，冷却水管的寿命大大提高。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种冷却水循环铜管，包括固件脚、铜管及固定件，所述固定脚包括上下两个铜块，形状设计贴合铜管，采用所述上下两个铜块夹紧铜管，并使用至少2个固定件进行固定。

进一步的，所述固定件为螺丝。

进一步的，有一所述固定件的底部穿过所述固定脚，用于将所述冷却水循环铜管，固定在高密度等离子设备上。

进一步的，所述铜管用其他金属管代替。

进一步的，所述铜块用其他金属块代替。

本实用新型冷却水循环铜管，在不影响散热的基础上，大大增加了使用寿命，减低设备故障时间，提高设备使用率。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：

图1是公知的冷却水循环铜管结构示意图；

图2是本实用新型冷却水循环铜管第一实施例结构示意图；

图3是本实用新型冷却水循环铜管第二实施例结构示意图。

主要附图标记说明：

铜管11                      固定脚12

螺丝13

铜管21                      固定脚22

固定件23

铜管31                      固定脚32

固定件33                    固定件331

具体实施方式

为使贵审查员对本实用新型的目的、特征及功效能够有更进一步的了解与认识，以下配合附图详述如后。

如图2所示，为本实用新型冷却水循环铜管第一实施例结构示意图，对固定脚22进行重新设计，包括上下两个铜块，形状设计贴合铜管21，使用至少2个固定件23进行固定，如图所示，固定脚22采用上下两个铜块夹紧铜管21的方式固定，即不影响散热，又不会损伤铜管21，大大增加了使用寿命，将其使用寿命提高至5年以上，并且提高了使用寿命，大大减少由于铜管漏水导致的设备故障时间，提高设备使用率。所述固定件可以为螺丝。所述铜管可以用其他金属管代替，所述铜块可以用其他金属块代替。

如图3所示，为本实用新型冷却水循环铜管第二实施例结构示意图，其与第一实施例的不同点在于，第二实施例的固定件33中有一个固定件331的底部穿过固定脚32，用于将本实用新型冷却水循环铜管，固定在高密度等离子设备(图中为标出)上。所述固定件33、固定件331可以为螺丝。

以上通过具体实施例对本实用新型进行了详细的说明，但这些并非构成对本实用新型的限制。在不脱离本实用新型原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本实用新型的保护范围。