[实用新型]探针卡清洗装置有效
申请号: | 201220610658.0 | 申请日: | 2012-11-16 |
公开(公告)号: | CN203044417U | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 牛刚;于建姝;赵晓东;刘冰冰;陈育浩 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B13/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 探针 清洗 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种半导体加工领域,尤其涉及一种探针卡的清洗装置
背景技术
探针卡是一种测试接口,主要对裸芯进行测试,通过其连接测试机和芯片,从而传输信号,完成对芯片参数的测试。
探针卡主要目的在于将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触,引出芯片讯号,再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前,针对裸晶使用探针做功能测试,筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此,它是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。
探针卡在经过多次使用后经常受到污染而影响探针卡的使用效果,所以有必要对其进行清洗处理。在现有技术中对探针卡的清洗主要是依靠人工来完成,利用100%纯度的异丙醇溶液(IPA溶液)进行处理,但是人工处理有可能会导致异丙醇溶液溅出进入人的眼睛中伤害人眼,同时,由于探针尖的尺寸太小(小于5微米),在人工清洗的过程中也很容易造成其被损坏。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够对探针卡进行自动清洗的装置。
为了解决这一技术问题,本实用新型提供了一种探针卡清洗装置,包括一个单侧开口的容器和分别设于所述容器开口两端的用于安装所述探针卡的两个支撑部,所述容器用于盛放清洗液,所述容器内侧壁上正对所述探针尖的位置设有超声波发生器。
所述探针卡清洗装置还包括设于所述容器开口处的保护板,所述保护板中心设有供所述探针尖穿过的圆形洞。
所述超声波发生器数量为2个,两个所述超声波发生器相对设置。
本实用新型提供的探针卡清洗装置还包括一个清洗液回收系统,用于对本实用新型提供的探针卡清洗装置进行所述清洗液的回收,包括U型吸管和回收瓶,所述U型吸管包括两侧互相连通的管体,所述回收瓶的开口正对着所述U型吸管一侧管体的开口处,且同侧管体上还设有一个吸液球,所述U型吸管的另一侧管体的开口供放置于所述清洗液中。
所述U型吸管上还设有一个阀门,所述阀门位于所述吸液球的下方。
所述回收瓶的开口处还设有一个过滤网。
本实用新型通过设置一个放置清洗液的容器,同时在容器开口处设置支撑部实现对探针卡的固定,在所述容器内设置超声波发生器,配合容器中的清洗液实现对探针卡的清洗,从而避免了手工操作的危险性和对探针尖的损伤,提供一种能够对探针卡进行自动清洗的装置。
附图说明
图1为探针卡的剖面结构示意图;
图2为本实用新型一实施例提供的探针卡清洗装置的侧面结构示意图;
图3为本实用新型一实施例提供的探针卡清洗装置的使用时结构示意图;
图4为本实用新型一实施例提供的清洗液回收系统的结构示意图;
图中,100—异丙醇溶液;101—探针卡;102—探针尖;103—圆孔;201—容器;202—支撑部;203—保护板;204—超声波发生器;205—圆形洞;301—U型吸管;302—吸液球;303—阀门;304—回收瓶;305—过滤网。
具体实施方式
以下将结合图1至图4对本实用新型提供的探针卡清洗装置和供其使用的清洗液回收系统进行详细的描述,可以认为本领域的技术人员可以根据公知的常识在本实用新型的精神和内容的范围内对其进行修改和润色。
请参考图2和图3并结合图1,本实施例提供了一种探针卡清洗装置,包括一个单侧开口的容器201和分别设于所述容器201开口两端的用于安装所述探针卡的两个支撑部202,所述支撑部202的位置与尺寸均与所述探针卡的边缘的圆孔103相匹配,用以固定所述探针卡的位置,所述容器201用于盛放清洗液(在本实施例中,为异丙醇溶液100),所述容器201内侧壁上正对所述探针尖102的位置设有超声波发生器204。
本实施例通过设置一个放置异丙醇溶液100的容器201,同时在容器201开口处设置支撑部202实现对探针卡101的固定,在所述容器201内设置超声波发生器204,配合容器中的异丙醇溶液100实现对探针卡的清洗
所述探针卡清洗装置还包括设于所述容器201开口处的保护板203,所述保护板203中心设有供所述探针尖102穿过的圆形洞205。保护板203的作用在于当清洗的时候保护探针卡101的下表面的电路板不会受到异丙醇溶液100的污染。
所述超声波发生器204数量为2个,两个所述超声波发生器204相对设置。有利于对所述探针卡101的均匀清洗。在本实施例中,所述超声波发生器204采用的强度为每平方厘米2瓦,并且通过实验可以知道若采用每平方厘米5瓦的话会损伤探针尖102。
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