[实用新型]探针卡清洗装置有效
| 申请号： | 201220610658.0 | 申请日： | 2012-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN203044417U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 牛刚;于建姝;赵晓东;刘冰冰;陈育浩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种探针卡清洗装置，用于对探针卡的探针尖进行清洗，其特征在于：包括一个单侧开口的容器和分别设于所述容器开口两端的用于安装所述探针卡的两个支撑部，所述容器用于盛放清洗液，所述容器内侧壁上正对所述探针尖的位置设有超声波发生器。
2.如权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于：还包括设于所述容器开口处的保护板，所述保护板中心设有供所述探针尖穿过的圆形洞。
3.如权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于：所述超声波发生器数量为2个，两个所述超声波发生器相对设置。
4.如权利要求1所述的探针卡清洗装置，其特征在于：还包括一个清洗液回收系统，所述清洗液回收系统包括U型吸管和回收瓶，所述U型吸管包括两侧互相连通的管体，所述回收瓶的开口正对着所述U型吸管一侧管体的开口处，且同侧管体上还设有一个吸液球，所述U型吸管的另一侧管体的开口供放置于所述清洗液中。
5.如权利要求4所述的探针卡清洗装置，其特征在于：所述U型吸管上还设有一个阀门，所述阀门位于所述吸液球的下方。
6.如权利要求4所述的探针卡清洗装置，其特征在于：所述回收瓶的开口处还设有一个过滤网。
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