[实用新型]下沉式标准机械界面设备

权利要求书

1.一种下沉式标准机械界面设备，其特征在于，该设备至少包括：控制模块，连接于所述控制模块的阀门，连接于所述阀门的晶圆盒承载装置以及放置于所述晶圆盒承载装置上的晶圆盒；所述晶圆盒包括一晶圆盒底板以及与所述晶圆盒底板配合的晶圆盒盖；所述晶圆盒承载装置包括一输气管道以及与所述输气管道连接的至少一个承载组件；所述输气管道包括进气端和出气端，所述进气端与所述阀门连接；所述承载组件包括：一框架以及位于所述框架内并相对于所述框架升降的底座；所述框架的一侧边固定于所述输气管道上，所述输气管道上与该侧边对应的位置设有一组连通所述输气管道的喷气嘴。

2.根据权利要求1所述的下沉式标准机械界面设备，其特征在于：所述框架上设有自动卡住或释放所述晶圆盒盖的自动卡固装置。

3.根据权利要求1所述的下沉式标准机械界面设备，其特征在于：所述晶圆盒底板连接于所述底座上。

4.根据权利要求1所述的下沉式标准机械界面设备，其特征在于：所述喷气嘴的开口方向朝下，且与垂直方向的夹角为0~80度。

5.根据权利要求1所述的下沉式标准机械界面设备，其特征在于：所述承载组件的数量为1~10个。

6.根据权利要求1所述的下沉式标准机械界面设备，其特征在于：一组喷气嘴的数量为3~20个。

7.根据权利要求6所述的下沉式标准机械界面设备，其特征在于：所有喷气嘴的开口方向一致。