[实用新型]用于监控晶片加工机台的工序进度的装置

说明书

本实用新型属于半导体技术领域，涉及一种时间继电器，特别是涉及一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置。

在半导体集成电路制造过程中，晶片在化学机械研磨机台中经过抛光后，要继续经过一系列的清洗步骤，除去在抛光过程中，晶片表面所残留的研磨液，以及微粒等脏污，用以保证晶片后续加工制造过程中的质量，从而完整的完成化学机械研磨的工艺。现有的晶片抛光、清洗均是由自动化机台完成，以美国NOVELLUS公司生产的化学研磨机台IPEC776为例，该机台在晶片加工过程中，由于软件发生故障较多而造成机台程序紊乱，进而导致机台无法动作，且该机台没有防呆报警装置，在设计上存在一定的缺陷，而这种缺陷会使处于机台研磨头下及清洗装置中的晶片长时间被研磨液等化学品腐蚀而导致报废；此外，机台若因故障停止生产而不被察觉，更会导致生产中断，影响进度等严重后果。

为解决上述问题，本领域技术人员提出了一种用于晶片加工机台的防呆计时报警装置，该装置包括判断模和报警模块；其中判断模块是用于在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子判断所述机台是否无动作；所述报警模块是用于在当前判断出所述机台无动作时发出报警。判断模块可采用具有判断计时时间是否大于设定值功能的计时器。该防呆计时报警装置虽然在一定程度上解决了机台发生故障而不被察觉的问题，但在对晶片精度要求日益提高的今天，其远远无法满足生产的需求。

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，用于解决现有技术中晶片加工进度不精确的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置。

一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，包括：数字输入端口、数字输出端口、继电器模块、报警模块；所述数字输入端口用于输出控制信号给晶片加工机台；所述数字输出端口用于采集晶片加工机台的信号；所述继电器模块与所述数字输入端口和数字输出端口分别相连，通过输入所述从晶片加工机台采集到的信号触发控制信号和报警信号，并将控制信号输出给数字输入端口；所述报警模块与所述继电器模块相连，用以接收所述报警信号发出报警。

优选地，所述继电器模块包括并联的第一继电器、第二继电器、第三继电器；所述第一继电器的输入端与所述数字输出端口相连，第一继电器的输出端接地；所述第二继电器的输入端与所述数字输出端口相连，第二继电器的控制端与所述数字输入端口相连，第二继电器的报警端与所述报警模块相连；所述第三继电器的输入端与所述数字输出端口相连，第三继电器的控制端与所述数字输入端口相连，第三继电器的报警端与所述报警模块相连。

优选地，所述数字输出端口包括A3管脚、B3管脚、A4管脚、B4管脚、A5管脚、B5管脚；所述数字输出端口的A3管脚与晶片加工机台的电源相连，所述数字输出端口的B3管脚与所述数字输出端口的A3管脚相连；所述数字输出端口的A4管脚与所述第二继电器的第3管脚相连，数字输出端口的B4管脚与第二继电器的第1管脚相连；所述数字输出端口的A5管脚与所述第三继电器的第3管脚相连，数字输出端口的B5管脚与第三继电器的第1管脚相连。

优选地，所述第一继电器的一端与所述数字输出端口的B3管脚相连，第一继电器的另一端接地。

优选地，所述第一继电器的一端与所述数字输出端口的B3管脚相连，第一继电器的另一端接地。

优选地，所述数字输入端口包括A5管脚、B5管脚、A7管脚、B7管脚；所述数字输入端口的A5管脚与所述第二继电器的第9管脚相连，数字输入端口的B5管脚与第二继电器的第8管脚相连；所述数字输入端口的A7管脚与所述第三继电器的第9管脚相连，数字输入端口的B7管脚与第三继电器的第8管脚相连。

优选地，所述第二继电器的第5管脚通过外部电源与所述报警模块的一端相连，所述第二继电器的第6管脚与所述报警模块的另一端相连；所述第二继电器的第5管脚和第6管脚之间连有一电容。

优选地，所述第三继电器的第5管脚通过外部电源与所述报警模块的一端相连，所述第三继电器的第6管脚与所述报警模块的另一端相连；所述第三继电器的第5管脚和第6管脚之间连有一电容。

优选地，所述第一继电器为常规继电器；所述第二继电器和第三继电器均为时间继电器。

如上所述，本实用新型所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，具有以下有益效果：