[实用新型]用于监控晶片加工机台的工序进度的装置

权利要求书

一种用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于，所述用于监控晶片加工机台的工序进度的装置包括： 

数字输入端口，用于输出控制信号给晶片加工机台； 

数字输出端口，用于采集晶片加工机台的信号； 

继电器模块，与所述数字输入端口和数字输出端口分别相连，通过输入所述从晶片加工机台采集到的信号触发控制信号和报警信号，并将控制信号输出给数字输入端口； 

报警模块，与所述继电器模块相连，用以接收所述报警信号发出报警。 

根据权利要求1所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于：所述继电器模块包括并联的第一继电器、第二继电器、第三继电器；所述第一继电器的输入端与所述数字输出端口相连，第一继电器的输出端接地；所述第二继电器的输入端与所述数字输出端口相连，第二继电器的控制端与所述数字输入端口相连，第二继电器的报警端与所述报警模块相连；所述第三继电器的输入端与所述数字输出端口相连，第三继电器的控制端与所述数字输入端口相连，第三继电器的报警端与所述报警模块相连。 

根据权利要求2所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于：所述数字输出端口包括A3管脚、B3管脚、A4管脚、B4管脚、A5管脚、B5管脚；所述数字输出端口的A3管脚与晶片加工机台的电源相连，所述数字输出端口的B3管脚与所述数字输出端口的A3管脚相连；所述数字输出端口的A4管脚与所述第二继电器的第3管脚相连，数字输出端口的B4管脚与第二继电器的第1管脚相连；所述数字输出端口的A5管脚与所述第三继电器的第3管脚相连，数字输出端口的B5管脚与第三继电器的第1管脚相连。 

根据权利要求3所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于：所述第一继电器的一端与所述数字输出端口的B3管脚相连，第一继电器的另一端接地。 

根据权利要求2所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于：所述数字输入端口包括A5管脚、B5管脚、A7管脚、B7管脚；所述数字输入端口的A5管脚与所述第二继电器的第9管脚相连，数字输入端口的B5管脚与第二继电器的第8管脚相连；所述数字输入端口的A7管脚与所述第三继电器的第9管脚相连，数字输入端口的B7管脚与第三继电器的第8管脚相连。 

根据权利要求3所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于：所述第二继电器的第5管脚通过外部电源与所述报警模块的一端相连，所述第二继电器的第6管脚与所述报警模块的另一端相连；所述第二继电器的第5管脚和第6管脚之间连有一电容。 

根据权利要求3所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于：所述第三继电器的第5管脚通过外部电源与所述报警模块的一端相连，所述第三继电器的第6管脚与所述报警模块的另一端相连；所述第三继电器的第5管脚和第6管脚之间连有一电容。 

根据权利要求2至7任意一项所述的用于监控晶片加工机台的工序进度的装置，其特征在于：所述第二继电器和第三继电器均为时间继电器。