[实用新型]杂料硅铸多晶硅锭专用炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及光电领域，具体涉及一种杂料硅铸多晶硅锭专用炉。

背景技术

光电领域中，硅是非常重要和常用的半导体原料，是太阳能电池最理想的原材料。硅原料一般要经过清洗、铸锭、切块、粘胶、切片、脱胶、清洗等工序后，才能用于太阳能电池。由于铸锭硅炉生产的多晶硅锭质量稳定，铸锭工艺比较成熟，现已经被广泛应用。多晶硅锭的质量好坏以及单炉产量直接影响着企业的而生产效率，但目前行业上多晶硅锭的利用率比较低，单炉产量也比较低，同时能耗较高，铸锭成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：克服现有技术的不足，提供一种利用杂料硅铸多晶硅锭专用炉，使铸定生产成本降低、铸锭产量提高。

本实用新型所采取的技术方案是：

杂料硅铸多晶硅锭专用炉，包括炉体，所述炉体设有进气口和出气口，炉体内设有石墨台，所述石墨台上放置有坩埚，还包括罩盖于坩埚的加热器，罩盖于加热器的隔热笼，所述隔热笼内顶部与石墨台上表面之间的距离略小于坩埚高度的2倍。

本实用新型进一步改进方案是，所述坩埚的内表面涂有氮化硅涂料。

本实用新型更进一步改进方案是，所述坩埚边口向下3~8厘米范围内的内表面涂有单层氮化硅涂料，其余内表面涂有多层氮化硅涂料。

本实用新型的有益效果在于：

用本实用新型进行杂料硅铸多晶硅锭时，先将盛有硅原料的坩埚放置在石墨台上，闭合炉体，将炉体内抽为真空，加入保护气，加热熔化硅原料，凝固长晶，最后进行冷却。从上述工作过程可知，用本实用新型进行杂料硅铸多晶硅锭，不仅能够降低生产成本，单炉产量提高了百分之三十五，而且大大提高了多晶硅锭的质量，使多晶硅的利用率达到百分之七十。

附图说明

图1为本实用新型结构主视剖视示意图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型包括炉体1，所述炉体1设有进气口4和出气口5，炉体1内设有石墨台3，所述石墨台3上放置有坩埚7（本实施案例中，坩埚7选用的型号为540型），还包括罩盖于坩埚7的加热器8，罩盖于加热器8的隔热笼2，其特征在于：所述隔热笼2内顶部与石墨台3上表面之间的距离略小于坩埚7高度的2倍；所述坩埚7的内表面涂有氮化硅涂料9；所述坩埚7边口向下3~8厘米范围内的内表面涂有单层氮化硅涂料9（本实施案例中，坩埚7边口向下5厘米范围内的内表面涂有单层氮化硅涂料），其余内表面涂有多层氮化硅涂料9。