[实用新型]杂料硅铸多晶硅锭专用炉有效
| 申请号： | 201220566037.7 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN202989353U | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 吕文 | 申请（专利权）人： | 宿迁宇龙光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人： | 谢观素 |
| 地址： | 223700 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 杂料硅铸 多晶 专用 | ||
【权利要求书】：
1.杂料硅铸多晶硅锭专用炉，包括炉体（1），所述炉体（1）设有进气口（4）和出气口（5），炉体（1）内设有石墨台（3），所述石墨台（3）上放置有坩埚（7），还包括罩盖于坩埚（7）的加热器（8），罩盖于加热器（8）的隔热笼（2），其特征在于：所述隔热笼（2）内顶部与石墨台（3）上表面之间的距离略小于坩埚（7）高度的2倍。
2.如权利要求1所述的一种杂料硅铸多晶硅锭专用炉，其特征在于：所述坩埚（7）的内表面涂有氮化硅涂料（9）。
3.如权利要求2所述的一种杂料硅铸多晶硅锭专用炉，其特征在于：所述坩埚（7）边口向下3~8厘米范围内的内表面涂有单层氮化硅涂料（9），其余内表面涂有多层氮化硅涂料（9）。
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