[实用新型]半导体设备及其加热器电源控制系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体设备，特别涉及一种应用于半导体设备中的加热器电源控制系统。

背景技术

半导体设备例如有机金属化学气相沉积（MOCVD）的加热器具有加热面积大，功率需求量大和温度精度控制要求严等特点。通常加热器负责多个加热区，每个加热区有多个电源并联供电给加热器，以满足加热器对功率的要求。

同一加热区多个电源并联供电的控制系统传统上是采用主从控制的方法，即控制单元例如计算机向其中一个电源（通常是主电源）发出控制信号；该电源收到信号后向其它电源（通常是从电源）发出相同的控制信号。（如图1所示，本例中以4个电源并联供电进行说明，其中一个为主电源，另外三个为从电源，各个电源的额定功率和额定电流相等，主电源接收到控制单元发出的控制信号后，将该控制信号发送给其他三个从电源）。

因为整个控制系统采用上述主从控制模式，利用一个控制信号最终来控制所有的电源，理论上看各个电源所接受的信号相同，因此各个电源输出电流大小也相同，此外主从控制模式中各个电源需要同时工作。例如加热器需要目标值为200安培大小的电流，则4个并联电源各输出50A，从而产生总大小为200安排的电流。

这种控制方式比较简单，同一个信号输入，会有4个对应的电流输出，各个电源同时工作，然而由于主电源在信号输出上存在一定的误差，可能导致各个从电源接收到的信号和主电源接收到的信号并不相同，从而整个控制系统在实际的电流输出上和目标值产生误差，降低控制的准确性。以上面的例子进行说明，主电源接收到的信号中要求各个电源输出50A电流，而主电源实际向从电源输出的信号中可能要求各个从电源输出49.8A的电流，从而导致实际输出电流和目标值之间存在误差。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种加热器电源控制系统，能够减少系统产生的误差，提高温度控制的准确性。

为了实现以上目的，本实用新型的一个实施例提供：

一种加热器电源控制系统，包含：控制单元，与所述控制单元分别相连的多个并联电源，以及与所述多个并联电源相连的加热器；其中，

所述控制单元用于计算加热器所需的目标功率或目标电流，并计算所述多个并联电源中各个电源相应的输出功率或者输出电流，以及，通知各个电源输出相应的输出功率或者输出电流；

所述的各个电源用于输出相应的输出功率或者输出电流给加热器。

可选地，所述控制单元为电脑或者可编程逻辑控制器。

可选地，所述各个电源的额定输出功率或者额定输出电流相同。

可选地，所述控制单元进一步用于向各个电源发送控制信号来通知各个电源。

可选地，所述控制单元向各个电源发送的控制信号相同或者其中至少两个控制信号不相同。

可选地，所述控制单元进一步用于向部分电源发送控制信号来通知各个电源。

可选地，所述控制单元向所述部分电源发送的控制信号相同或者其中至少两个控制信号不相同。

可选地，所述部分电源输出功率或者输出电流为零。

本实用新型一个实施例还提供一种半导体设备，包括上述的加热器电源控制系统。

可选地，所述半导体设备为有机金属化学气相沉积MOCVD设备。

本实用新型实施例提供的技术方案与现有技术相比： 

能够减少系统产生的误差，提高温度控制的准确性。

附图说明

图1为现有技术中加热器电源控制系统的系统框图；

图2为本实用新型加热器电源控制系统的系统框图。

具体实施方式

本申请发明人经过努力发现，在主从控制中，主电源传送给各个从电源的信号和主电源接收到的信号可能并不相同，即存在一定的误差，从而导致整个控制系统在实际的电流输出上和目标值产生误差。

以下结合附图和具体实施例，对本实用新型做进一步阐述。

如图2所示，本实用新型在一个实施例中提供了一种加热器电源控制系统，该加热器电源控制系统包含：控制单元，与控制单元分别相连的多个并联电源，以及与多个并联电源分别相连的加热器。为方便说明，和图1相对应，还是以4个并联电源（电源1、电源2、电源3、电源4）为例进行说明。需要指出的是，本实施例对电源个数不做限定，可以是2个、3个或者更多个并联电源。